[实用新型]一种磊晶装置的清灰管路及磊晶装置

说明书

本实用新型属于半导体制造装置领域，公开了一种磊晶装置的清灰管路及磊晶装置。磊晶装置包括磊晶腔体和传送腔体，磊晶装置的清灰管路包括三通阀、排灰气源以及清灰管路，三通阀包括第一接口、第二接口以及第三接口，第一接口连通磊晶腔体，第二接口连通传送腔体，排灰气源能够和第二接口连通，第三接口连通清灰管路，三通阀的第二接口被配置为与第一接口和第三接口同时断开或者择一连通。第二接口与第一接口连通，平衡了磊晶腔体和传送腔体之间的压差。第二接口和第三接口连通，再将第二接口连通于排灰气源，从而使均压管路中的微尘能够通过清灰管路排出，清洁了管路内的灰尘，结构简单，实施方便。

技术领域

本实用新型涉及半导体制造装置领域，尤其涉及一种磊晶装置的清灰管路及磊晶装置。

背景技术

磊晶机台在传送芯片时，在传送腔体及磊晶腔体之间存在压差，压差过大可能导致芯片的破损或缺陷。为了解决这个问题，需要在两个腔体之间设置等压阀，在芯片的传送过程前，先开启等压阀，以平衡两个腔体之间的压力，在两个腔体的压差均衡后关闭等压阀，再将芯片由传送腔体传送进入磊晶腔体。随着长时间的使用，微尘容易聚积于等压阀和管路内，当微尘足够多时，微尘会在等压阀开启瞬间喷入腔体内部，造成腔体内部的工艺环境不良，进而造成在芯片传送进入后，在生产时有不同程度的工艺缺陷。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种磊晶装置的清灰管路及磊晶装置，清洁连通磊晶腔体和传送腔体的管路里的灰尘。

为达此目的，本实用新型采用以下技术方案：

一种磊晶装置的清灰管路，用于磊晶装置的清灰，所述磊晶装置包括磊晶腔体和传送腔体，所述磊晶装置的清灰管路包括：

三通阀，所述三通阀包括第一接口、第二接口以及第三接口，所述第一接口连通所述磊晶腔体，所述第二接口连通所述传送腔体；

排灰气源，所述排灰气源能够和所述第二接口连通；

清灰管路，所述清灰管路连通所述第三接口；

所述三通阀的所述第二接口被配置为与所述第一接口和所述第三接口同时断开或者择一连通。

作为优选，所述三通阀上设置有第一控制件和第二控制件，所述第一控制件用于控制所述第一接口的启闭，所述第二控制件用于控制所述第二接口的启闭。

作为优选，还包括微尘感应器，所述微尘感应器设置于所述第一接口或者所述第二接口处，所述微尘感应器用于检测所述第一接口或者所述第二接口处的微尘含量。

作为优选，所述第二接口和所述排灰气源通过第一管路连通。

作为优选，还包括控制阀，所述控制阀设置在所述第一管路上。

作为优选，所述控制阀为电子阀，使所述排灰气源的气体通过所述第一管路进入所述清灰管路。

作为优选，还包括灰尘收集腔，所述清灰管路连接于所述灰尘收集腔。

作为优选，所述排灰气源采用惰性气体。

为达上述目的，本实用新型还提供一种磊晶装置，包括主管路和上述的磊晶装置的清灰管路，所述磊晶装置包括磊晶腔体和传送腔体，所述磊晶腔体和所述传送腔体之间通过所述磊晶装置的清灰管路和所述主管路相连通。

作为优选，还包括连通阀，所述连通阀设置在所述主管路上，用于控制所述主管路的启闭。

本实用新型的有益效果：