[实用新型]一种磊晶装置的清灰管路及磊晶装置

权利要求书

1.一种磊晶装置的清灰管路，用于磊晶装置的清灰，所述磊晶装置包括磊晶腔体(100)和传送腔体(200)，其特征在于，所述磊晶装置的清灰管路包括：

三通阀(1)，所述三通阀(1)包括第一接口(11)、第二接口(12)以及第三接口(13)，所述第一接口(11)连通所述磊晶腔体(100)，所述第二接口(12)连通所述传送腔体(200)；

排灰气源，所述排灰气源能够和所述第二接口(12)连通；

清灰管路(2)，所述清灰管路(2)连通所述第三接口(13)；

所述三通阀(1)的所述第二接口(12)被配置为与所述第一接口(11)和所述第三接口(13)同时断开或者择一连通。

2.根据权利要求1所述的磊晶装置的清灰管路，其特征在于，所述三通阀(1)上设置有第一控制件(111)和第二控制件(121)，所述第一控制件(111)用于控制所述第一接口(11)的启闭，所述第二控制件(121)用于控制所述第二接口(12)的启闭。

3.根据权利要求1所述的磊晶装置的清灰管路，其特征在于，还包括微尘感应器(3)，所述微尘感应器(3)设置于所述第一接口(11)或者所述第二接口(12)处，所述微尘感应器(3)用于检测所述第一接口(11)或者所述第二接口(12)处的微尘含量。

4.根据权利要求1所述的磊晶装置的清灰管路，其特征在于，所述第二接口(12)和所述排灰气源通过第一管路(4)连通。

5.根据权利要求4所述的磊晶装置的清灰管路，其特征在于，还包括控制阀(5)，所述控制阀(5)设置在所述第一管路(4)上。

6.根据权利要求5所述的磊晶装置的清灰管路，其特征在于，所述控制阀(5)为电子阀，使所述排灰气源的气体通过所述第一管路(4)进入所述清灰管路(2)。

7.根据权利要求1所述的磊晶装置的清灰管路，其特征在于，还包括灰尘收集腔(6)，所述清灰管路(2)连接于所述灰尘收集腔(6)。

8.根据权利要求1所述的磊晶装置的清灰管路，其特征在于，所述排灰气源采用惰性气体。

9.一种磊晶装置，其特征在于，包括主管路(300)和权利要求1-8任意一项所述的磊晶装置的清灰管路，所述磊晶装置包括磊晶腔体(100)和传送腔体(200)，所述磊晶腔体(100)和所述传送腔体(200)之间通过所述磊晶装置的清灰管路和所述主管路(300)相连通。

10.根据权利要求9所述的磊晶装置，其特征在于，还包括连通阀(400)，所述连通阀(400)设置在所述主管路(300)上，用于控制所述主管路(300)的启闭。