[实用新型]一种装有防水透声膜组件的MEMS

说明书

本实用公开了一种装有防水透声膜组件的MEMS，该MEMS上有凹槽，防水透声膜组件在凹槽内壁上；防水透声膜组件包括防水透声膜和支撑层，支撑层位于防水透声膜背离外界环境的一侧，支撑层为高分子聚合物层，不仅价格便宜，还便于防水透声膜组件整体的安装加工；同时支撑层的弹性模量为40‑400MPa，对防水透声膜具有较大的支撑作用，使得整个防水透声膜组件的耐水压为20‑500kPa，耐水压较大；与此同时在支撑层上有若干个支撑孔，提高了支撑层的透声性能，使得防水透声膜组件在100‑10000Hz的声频范围下的声音阻隔量小于3dB，透声性能好；防水透声膜组件的防水性能为IP64或IP65或IP66或IP67或IP68，防水性能强；该防水透声膜组件能够长时间为MEMS提高防水透声作用，保证MEMS具有较长的使用寿命。

技术领域

本实用新型涉及膜材料技术领域以及微电子技术领域，更具体的说是涉及一种装有防水透声膜组件的MEMS。

背景技术

随着社会的进步，人们对于手机，笔记本电脑等电子产品的要求越来越高，不仅希望这些电子产品的性能越来越高，能够满足人们的各项工作需求，还希望这些电子产品的体积越来越小，方便人们携带；因此与之相配套的电子零件的体积也需要不断减小、而性能和一致性需要不断提高。

在上述背景下，MEMS这一种电子零部件备受人们的关注，MEMS即微机电系统，也叫做微电子机械系统，它是指尺寸在几毫米乃至更小的高科技装置，其内部结构一般在微米甚至纳米量级，是一个独立的智能系统。主要由传感器、动作器(执行器)和微能源三大部分组成。微机电系统涉及物理学、半导体、光学及生物工程等多种学科和工程技术，为智能系统、消费电子和智能家居等领域开拓了广阔的用途。

常见的MEMS相关产品包括MEMS加速度计、MEMS麦克风、MEMS压力传感器、MEMS陀螺仪、MEMS湿度传感器等以及它们的集成产品。在将MEMS应用在麦克风等声学部件的过程中，为了防止外界的水等液体影响麦克风等声学部件的声学性能以及使用寿命，需要在MEMS上贴一层防水透声膜；与此同时常常会在防水透声膜上背离外界环境的一侧设置有一层支撑层，该支撑层用于提高防水透声膜整体的耐水压能力，从而拓宽其应用范围；例如申请号为CN201780058064.9的中国专利“防水透声盖部、防水透声盖部构件和声学装置”中就提到了在所述防水透声盖部的一侧上设置有支撑层；目前常见的支撑层只要有以下两种，一种是无孔的聚合物层，如PI支撑层；另一种是不锈钢网支撑层。虽然上述两种不同材料形成的支撑层均对防水透声膜具有不错的支撑作用，但是在实际的制备使用过程中，研发人员发现上述两种支撑层均存在一定的缺陷，例如PI支撑层，由于其是无孔的，在声音传递过程中，声损就会较大，从而导致整个防水透声膜组件的透声性能较差，继而影响了相应声学部件的正常工作，不适合用于紧密仪器中；而不锈钢网支撑层，由于在前期的加工处理过程中不锈钢网容易出现毛刺，毛刺的存在不利于防水透声膜组件整体后期的加工安装，甚至一旦毛刺过长，就会对防水透声膜的防水透声性能产生不良的影响；与此同时钢网的弹性形变很低，一旦受到较大力作用后，就容易发生不可逆形变，无法恢复到初始状态，这样就会对防水透声膜组件整体的透声性能造成不良影响；此外钢网的价格较贵，经济成本较高；上述两种支撑层均存在一定的缺点，而这些缺点的存在，也一定程度上限制了防水透声膜的发展。

实用新型内容

针对现有技术存在的不足，本实用新型的目的在于提供一种装有防水透声膜组件的MEMS，该防水透声膜组件具有较强防水性和较高的透声性，并且价格便宜，便于安装加工，适合装贴在MEMS上长时间为MEMS起到防水透声的作用。