[实用新型]一种装有防水透声膜组件的MEMS

权利要求书

1.一种装有防水透声膜组件的MEMS，其特征在于：MEMS上设置有凹槽，防水透声膜组件固定在凹槽内壁上；所述防水透声膜组件包括有防水透声膜和支撑层，所述防水透声膜的孔径为0.02-2μm；所述支撑层位于防水透声膜背离外界环境的一侧；所述支撑层上设置有若干个支撑孔；所述防水透声膜组件在100-10000Hz的声频范围下的声音阻隔量小于3dB，防水性能为IP64或IP65或IP66或IP67或IP68；所述防水透声膜组件的耐水压为20-500kPa；所述支撑层为高分子聚合物层，其弹性模量为40-400MPa。

2.根据权利要求1所述的一种装有防水透声膜组件的MEMS，其特征在于：所述防水透声膜与所述支撑层之间存在间隔d；所述防水透声膜包含防水透声段D；

在受到20-500kPa压力作用时，所述防水透声段的最大相对形变量E=（2d+AD）/D不大于防水透声段的弹性极限相对形变量S；

其中A为在20-500kPa压力作用时，支撑层的相对形变量。

3.根据权利要求2所述的一种装有防水透声膜组件的MEMS，其特征在于：所述防水透声段的弹性极限相对形变量S的范围为1%-30%；在20-500KPa压力作用下，支撑层的相对形变量A不大于1%。

4.根据权利要求2所述的一种装有防水透声膜组件的MEMS，其特征在于：所述间隔d为20-80μm；所述防水透声段D为1-5mm。

5.根据权利要求3所述的一种装有防水透声膜组件的MEMS，其特征在于：所述支撑层为耐高温的高分子聚合物层，所述支撑层至少能耐250℃的高温3min；所述支撑层的透气速率为0.1-30L/(min·cm²）@7kPa；所述支撑层的厚度为0.04-0.12mm。

6.根据权利要求5所述的一种装有防水透声膜组件的MEMS，其特征在于：所述支撑层为PI支撑层；所述支撑孔的孔径为0.1-0.7mm，所述支撑层外表面上的支撑孔面积率为5%-75%。

7.根据权利要求1所述的一种装有防水透声膜组件的MEMS，其特征在于：所述防水透声膜的厚度为2-20μm，耐水压为10kPa到450kPa；所述防水透声膜在100-10000Hz的声频范围下的声音阻隔量不大于1.3dB。

8.根据权利要求1所述的一种装有防水透声膜组件的MEMS，其特征在于：所述支撑孔在支撑层上的排布方式为均匀分布或不均匀分布；当支撑孔在支撑层上的排布方式为均匀分布时，其分布方式为矩形分布或环形分布；当支撑孔在支撑层表面上不均匀分布时，其分布方式为中间密，边缘疏；或者，中间疏，边缘密；或者，一侧密，另一侧疏。

9.根据权利要求4所述的一种装有防水透声膜组件的MEMS，其特征在于：所述防水透声膜组件在经过压力为20-500KPa，时间为2小时的5次循环防水测试前后，其100-10000Hz的声频范围下声音阻隔量的差值小于1.5dB；

在温度为-40℃-80℃，空气相对湿度为20%-80%，声频为100-10000Hz的情况下，所述防水透声膜组件的谐波失真增量至多为15%。

10.根据权利要求2所述的一种装有防水透声膜组件的MEMS，其特征在于：所述防水透声膜和所述支撑层的周边提供间隔物，从而在所述防水透声膜和所述支撑层之间保持间隔d；所述间隔物为第一粘合件，所述第一粘合件的粘结强度为5-50N/cm。

11.根据权利要求1所述的一种装有防水透声膜组件的MEMS，其特征在于：所述防水透声膜背离支撑层的一侧还设置有高分子聚合物材料制成的防护层；所述防护层上设置有若干个透声孔，所述透声孔的孔径为0.1-0.5mm，所述防护层外表面上的透声孔面积率为10-70%；所述防护层靠近外界环境一侧表面的表面能为12-45mN/m。

12.根据权利要求11所述的一种装有防水透声膜组件的MEMS，其特征在于：所述防护层为PI防护层，所述防护层的弹性模量为50-300MPa，所述防护层的弹性极限形变量为5%-20%；所述防护层的硬度为H-4H；所述防护层的厚度为0.02-0.08mm。