[实用新型]一种太阳能电池AZO+SiN叠层保护膜的镀制设备有效
| 申请号： | 202120217920.4 | 申请日： | 2021-01-26 |
| 公开（公告）号： | CN215404466U | 公开（公告）日： | 2022-01-04 |
| 发明（设计）人： | 闫路;上官泉元 | 申请（专利权）人： | 常州比太科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/08 | 分类号： | C23C14/08;C23C14/06;C23C16/34;C23C16/50;C23C14/35;C23C28/04;H01L31/18 |
| 代理公司： | 北京集智东方知识产权代理有限公司 11578 | 代理人： | 吴倩 |
| 地址： | 213164 江苏省苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 太阳能电池 azo sin 保护膜 设备 | ||
1.一种太阳能电池AZO+SiN叠层保护膜的镀制设备，其特征在于，包括依次设置在同一镀膜腔内的AZO镀膜区(30)及SiN镀膜区(50)，以及对应所述AZO镀膜区(30)及SiN镀膜区(50)的链式传输机构，装载有硅片的载板平躺在所述链式传输机构上依次经过所述AZO镀膜区(30)及SiN镀膜区(50)。
2.根据权利要求1所述的一种太阳能电池AZO+SiN叠层保护膜的镀制设备，其特征在于，所述AZO镀膜区(30)的入料端还设置有装载腔(20)，所述SiN镀膜区(50)的出料端还设置有卸载腔(60)。
3.根据权利要求2所述的一种太阳能电池AZO+SiN叠层保护膜的镀制设备，其特征在于，所述装载腔(20)的入料端还设置有硅片自动化上料机构(10)，所述卸载腔(60)的出料端还设置有硅片自动化下料机构(70)。
4.根据权利要求3所述的一种太阳能电池AZO+SiN叠层保护膜的镀制设备，其特征在于，所述上料机构(10)和下料机构(70)分别设置在镀制设备的两端或同一端。
5.根据权利要求4所述的一种太阳能电池AZO+SiN叠层保护膜的镀制设备，其特征在于，所述上料机构(10)与下料机构(70)之间还设置有载板回转机构(80)。
6.根据权利要求1-5任一项所述的一种太阳能电池AZO+SiN叠层保护膜的镀制设备，其特征在于，所述AZO镀膜区(30)及SiN镀膜区(50)之间还设置有过渡腔(40)。
7.一种太阳能电池，其特征在于，具有基于权利要求1所述的镀制设备制备而成的AZO+SiN叠层保护膜。
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