[实用新型]一种全自动半导体视觉检查机

说明书

本实用新型涉及半导体检测设备领域，具体地说，涉及一种全自动半导体视觉检查机。包括内置有控制主机的主机箱、供料机构、上料机构、旋转送料机构、若干个视觉检查装置、若干个姿态调整装置和收料机构。本实用新型实现了自动检查半导体产品的外观，经过多次对半导体的姿态调整，配合高分辨率的视觉摄像头，检查产品的所有外表面，一次旋转，各个工位同时进行作业，各个摄像头同时拍摄，旋转节拍非常短，效率高，检测过程无需人为参与，人员占有率低，可脱机作业；无人员接触产品，不会对产品外观造成二次污染，而且，品控稳定，漏检率为零；同时，人机交互友好，低能耗，高性能，设备寿命长，无废水废气等排放。

技术领域

本实用新型涉及半导体检测设备领域，具体地说，涉及一种全自动半导体视觉检查机。

背景技术

半导体生产厂家在半导体产品(如图1所示)生产环节完成后，要对半导体产品进行最终的外观检查。现有技术中，半导体产品外观检查所采用的作业方式是，工人手持产品通过肉眼进行检查，必要时借助光学放大镜进行检查。

工人肉眼或放大镜检查的方式，缺点十分明显：1、误检率高，良品内混入不良品，出库给客户，会造成重大损失；2、检测标准模糊，一般是根据工人的人为判断作为基准，无法量化；3、工人需要对产品的所有面进行翻转，每个面进行判断，作业节拍缓慢，检测效率低下。

实用新型内容

本实用新型的目的在于，提供一种全自动半导体视觉检查机，解决以上技术问题。

为解决上述问题，本实用新型所采用的技术方案是：

一种全自动半导体视觉检查机，其特征在于：包括内置有控制主机的主机箱、供料机构、上料机构、旋转送料机构、若干个用于检查半导体产品外观的视觉检查装置、若干个用于调整物料姿态的姿态调整装置和收料机构；

所述旋转送料机构位于主机箱的顶部，包括旋转驱动电机、受旋转驱动电机驱动而旋转的三层转盘，三层转盘的圆周边缘部位均匀设置有若干个上下对应的工位，其中：上层转盘的各个工位上分别固定有电磁阀和受电磁阀控制的提升气缸；中间转盘的各个工位上分别装配有上提升臂，且中间转盘上每个工位所对应部位的底部均固定有辅助提升臂；下层转盘的各个工位上分别固定有下提升臂，所述下提升臂的顶端与上提升臂的底端固定连接，下提升臂的上端设有凸环，所述辅助提升臂底端设有与凸环相匹配的钩状部，下提升臂的底端固定有吸附气嘴；

所述供料机构位于主机箱的外侧，其出料口与上料机构相对接，所述上料机构的末端出料口与固定在主机箱顶部的上料工位相对接，从上料工位开始按逆时针方向对应转盘的各个工位依次设置有第一视觉检查装置、第二视觉检查装置、第一姿态调整装置、第三视觉检查装置、第二姿态调整装置、第四视觉检查装置、第三姿态调整装置、第五视觉检查装置、第四姿态调整装置、第六视觉检查装置、第五姿态调整装置、不良品分类收集机构和收料机构。

进一步地说，所述主机箱的顶部还装配有用于观测检查结果的显示屏和用于进行设备操作的触摸屏。

进一步地说，所述供料机构包括料仓、设置在料仓内的若干储料架组、用于存放半导体产品的供料盒、料盒升降气缸和料盒推送装置；每一个储料架组包括两个呈U形槽结构且开口相对的储料架，所述供料盒的两端分别卡在储料架组的两个储料架的U形槽中，各个储料架的底端悬空；所述料盒升降气缸和料盒推送装置均安装在料仓的底部；所述料仓内与上料机构的进料口相对应的部位设置有料盒旋转气缸，与料盒旋转气缸相对的另一侧装配有能升降的料盒机械手。

进一步地说，所述上提升臂的下部和下提升臂的上部均套有复位弹簧。

进一步地说，所述视觉检查装置包括摄像头和用于放置半导体产品的物料置放台，所述物料置放台位于摄像头拍摄方向的正前方。

进一步地说，所述收料机构包括倾斜设置的收料仓、若干个设置在收料仓内的收料盒和用于支撑收料仓的支撑腿。

进一步地说，所述收料机构后侧的工位装配有废品收集盒。