[实用新型]一种全自动半导体视觉检查机

权利要求书

1.一种全自动半导体视觉检查机，其特征在于：包括内置有控制主机(2)的主机箱(1)、供料机构、上料机构(10)、旋转送料机构、若干个用于检查半导体产品外观的视觉检查装置(4)、若干个用于调整物料姿态的姿态调整装置(3)和收料机构；

所述旋转送料机构位于主机箱(1)的顶部，包括旋转驱动电机(24)、受旋转驱动电机(24)驱动而旋转的三层转盘，三层转盘的圆周边缘部位均匀设置有若干个上下对应的工位，其中：上层转盘(23)的各个工位上分别固定有电磁阀(25)和受电磁阀(25)控制的提升气缸(26)；中间转盘(32)的各个工位上分别装配有上提升臂(28)，且中间转盘(32)上每个工位所对应部位的底部均固定有辅助提升臂(29)；下层转盘(33)的各个工位上分别固定有下提升臂(30)，所述下提升臂(30)的顶端与上提升臂(28)的底端固定连接，下提升臂(30)的上端设有凸环，所述辅助提升臂(29)底端设有与凸环相匹配的钩状部，下提升臂(30)的底端固定有吸附气嘴(34)；

所述供料机构位于主机箱(1)的外侧，其出料口与上料机构(10)相对接，所述上料机构(10)的末端出料口与固定在主机箱(1)顶部的上料工位相对接，从上料工位开始按逆时针方向对应转盘的各个工位依次设置有第一视觉检查装置、第二视觉检查装置、第一姿态调整装置、第三视觉检查装置、第二姿态调整装置、第四视觉检查装置、第三姿态调整装置、第五视觉检查装置、第四姿态调整装置、第六视觉检查装置、第五姿态调整装置、不良品分类收集机构和收料机构。

2.根据权利要求1所述的全自动半导体视觉检查机，其特征在于：所述主机箱(1)的顶部还装配有用于观测检查结果的显示屏(5)和用于进行设备操作的触摸屏(8)。

3.根据权利要求1或2所述的全自动半导体视觉检查机，其特征在于：所述供料机构包括料仓(16)、设置在料仓(16)内的若干储料架组、用于存放半导体产品的供料盒(12)、料盒升降气缸(15)和料盒推送装置(17)；每一个储料架组包括两个呈U形槽结构且开口相对的储料架(14)，所述供料盒(12)的两端分别卡在储料架组的两个储料架(14)的U形槽中，各个储料架(14)的底端悬空；所述料盒升降气缸(15)和料盒推送装置(17)均安装在料仓(16)的底部；所述料仓内(16)与上料机构(10)的进料口相对应的部位设置有料盒旋转气缸(11)，与料盒旋转气缸(11)相对的另一侧装配有能升降的料盒机械手(13)。

4.根据权利要求3所述的全自动半导体视觉检查机，其特征在于：所述视觉检查装置(4)包括摄像头和用于放置半导体产品的物料置放台，所述物料置放台位于摄像头拍摄方向的正前方。

5.根据权利要求4所述的全自动半导体视觉检查机，其特征在于：所述上提升臂(28)的下部和下提升臂(30)的上部均套有复位弹簧。

6.根据权利要求5所述的全自动半导体视觉检查机，其特征在于：所述收料机构包括倾斜设置的收料仓(19)、若干个设置在收料仓(19)内的收料盒(18)和用于支撑收料仓(19)的支撑腿(20)。

7.根据权利要求6所述的全自动半导体视觉检查机，其特征在于：所述收料机构后侧的工位装配有废品收集盒(9)。

8.根据权利要求7所述的全自动半导体视觉检查机，其特征在于：所述旋转送料机构的外部装配有防护罩(6)。