[实用新型]均热板及微电子器件

权利要求书

1.一种均热板，其特征在于，包括相对设置的蒸发板及冷凝板，所述冷凝板朝向所述蒸发板的一面设有多个阵列排布的第一凸起部，所述蒸发板与所述冷凝板边缘密封连接并在所述蒸发板及所述冷凝板之间形成真空腔，所述真空腔内填充有冷凝液，每一个所述第一凸起部抵接于所述蒸发板。

2.如权利要求1所述的均热板，其特征在于，所述冷凝板设有相对设置的第一密封面及第一接触面，所述多个第一凸起部阵列排布于所述第一密封面上，所述第一接触面上对应所述多个第一凸起部的位置设有多个对应的第一凹陷部。

3.如权利要求2所述的均热板，其特征在于，所述蒸发板朝向所述冷凝板的一面设有多个阵列排布的第二凸起部，每一个所述第二凸起部抵接于对应的一个第一凸起部。

4.如权利要求3所述的均热板，其特征在于，所述蒸发板设有相对设置的第二密封面及第二接触面，所述多个第二凸起部阵列排布于所述第二密封面上，所述第二接触面上对应所述多个第二凸起部的位置设有多个对应的第二凹陷部。

5.如权利要求4所述的均热板，其特征在于，所述第一密封面的表面和所述第二密封面的表面均设有毛细层，所述第一凸起部的表面及所述第二凸起部的表面均设有毛细层，所述第一凸起部的毛细层与对应的所述第二凸起部的毛细层相连通。

6.如权利要求5所述的均热板，其特征在于，所述第一密封面上的毛细层和所述第二密封面上的毛细层均设有多个阵列排布的沟槽，所述第一密封面上的沟槽与所述第二密封面上的沟槽的一一相对设置。

7.如权利要求6所述的均热板，其特征在于，所述第一密封面上的沟槽与所述第二密封面上的沟槽的深度和宽度的范围均为10μm至300μm。

8.如权利要求4所述的均热板，其特征在于，所述第一凸起部自所述第一密封面所在平面向所述真空腔的内部延伸并均匀收缩，所述第二凸起部自所述第二密封面所在平面向所述真空腔的内部延伸并均匀收缩。

9.如权利要求1所述的均热板，其特征在于，所述蒸发板的边缘设有第一折边，所述冷凝板的边缘设有第二折边，所述第一折边与所述第二折边密封连接。

10.一种微电子器件，其特征在于，包括如权利要求1至9任一项所述的均热板。