[实用新型]一种便于装载的晶圆装载支架

权利要求书

1.一种便于装载的晶圆装载支架，包括本体（1）和固定底板（8），其特征在于：还包括能够对测距仪进行防护的防护结构、增加安装稳定性的安装结构（12）和能够便于装载晶圆的夹持结构（15）；

所述固定底板（8）顶端的一侧安装有本体（1），且固定底板（8）顶端的另一侧安装有安装盒（16），所述安装盒（16）顶端的中间位置处安装有驱动电机（17），且安装盒（16）的内部安装有螺纹杆（13），所述驱动电机（17）的输出端延伸至安装盒（16）的内部并安装有螺纹杆（13），且螺纹杆（13）的外侧套设有活动块（14），所述活动块（14）的一侧延伸至本体（1）的内部并安装有放置板（2），且夹持结构（15）安装于放置板（2）顶端的两侧；

所述安装结构（12）安装于固定底板（8）外部的两侧；

所述本体（1）内部底端的中间位置处安装有超声波测距仪（7），所述防护结构安装于本体（1）内部的底端。

2.根据权利要求1所述的一种便于装载的晶圆装载支架，其特征在于：所述防护结构包括活动板（3），所述活动板（3）安装于本体（1）内部两侧之间的下端，且活动板（3）底端的两侧均铰接有铰接杆（4），所述本体（1）内部两侧的活动板（3）下方设置有滑杆（6），且活动板（3）外部的两侧均套设有连接块（18），所述连接块（18）与铰接杆（4）相铰接，且连接块（18）的底端安装有支撑杆（5）。

3.根据权利要求1所述的一种便于装载的晶圆装载支架，其特征在于：所述本体（1）内部底端的两侧均开设有滑轨（11），且支撑杆（5）的底端均设置有与滑轨（11）相匹配的滑块（10），同时本体（1）和支撑杆（5）之间通过滑块（10）和滑轨（11）滑动连接构成滑动结构。

4.根据权利要求2所述的一种便于装载的晶圆装载支架，其特征在于：所述活动板（3）底端两端的中间位置处均焊接有复位弹簧（9），且复位弹簧（9）与滑杆（6）之间呈焊接一体化结构。

5.根据权利要求1所述的一种便于装载的晶圆装载支架，其特征在于：所述安装结构（12）包括凸块（1201）、推进杆（1202）、推进板（1203）和安装槽（1204），所述安装槽（1204）套设于固定底板（8）两侧的中间位置处，且安装槽（1204）底端的中间位置处转动连接有推进杆（1202），所述推进杆（1202）的顶端延伸至安装槽（1204）的内部并安装有推进板（1203），且推进板（1203）的顶端等间距安装有凸块（1201）。

6.根据权利要求5所述的一种便于装载的晶圆装载支架，其特征在于：所述安装槽（1204）的横截面呈C形，且安装槽（1204）关于固定底板（8）水平方向的中轴线对称分布。

7.根据权利要求1所述的一种便于装载的晶圆装载支架，其特征在于：所述夹持结构（15）包括柔性垫（1501）、固定板（1502）、连接弹簧（1503）、放置槽（1504）和夹持板（1505），所述固定板（1502）安装于放置板（2）顶端的两侧，且固定板（1502）的一侧等间距焊接有连接弹簧（1503），所述连接弹簧（1503）的一侧安装有夹持板（1505），且夹持板（1505）的一侧安装有柔性垫（1501），所述柔性垫（1501）的一侧等间距开设有放置槽（1504）。