[实用新型]清洗装置有效
申请号: | 202120158265.X | 申请日: | 2021-01-20 |
公开(公告)号: | CN214683121U | 公开(公告)日: | 2021-11-12 |
发明(设计)人: | 王秋林;周利刚;张锐 | 申请(专利权)人: | 长江存储科技有限责任公司 |
主分类号: | B08B3/02 | 分类号: | B08B3/02;B08B3/08;B08B15/04;B08B13/00;H01L21/67 |
代理公司: | 北京派特恩知识产权代理有限公司 11270 | 代理人: | 李路遥;张颖玲 |
地址: | 430074 湖北省武*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 清洗 装置 | ||
1.一种清洗装置,其特征在于,所述装置包括:承载部件、喷嘴及第一管路;其中,
对待清洗器件进行清洗时,所述待清洗器件设置在所述承载部件上;
所述喷嘴设置在所述待清洗器件的上方,用于向所述待清洗器件喷射第一液体,以清洗所述待清洗器件;
所述第一管路的进气口设置在与所述喷嘴靠近的位置,用于排出第一气体;所述第一气体是在清洗所述待清洗器件过程中,由所述第一液体形成的。
2.根据权利要求1所述的装置,其特征在于,所述第一管路的材质包括疏水性材质。
3.根据权利要求2所述的装置,其特征在于,所述疏水性材质包括可溶性聚四氟乙烯。
4.根据权利要求1所述的装置,其特征在于,
所述清洗装置还包括第二管路,所述第二管路与所述第一管路连接;第二液体通过所述第二管路被通入至所述第一管路中,以清洗所述第一管路;
所述清洗装置还包括第三管路,所述第三管路与所述第一管路连接;第二气体通过所述第三管路被通入至所述第一管路中,以干燥所述第一管路。
5.根据权利要求4所述的装置,其特征在于,
所述第二管路设置在靠近所述第一管路的出气口的一端,且通过第一三通阀门与所述第一管路连接;
所述第三管路设置在所述第一管路的出气口与所述第二管路之间,且通过第二三通阀门与所述第一管路连接。
6.根据权利要求5所述的装置,其特征在于,
所述第一三通阀门包括第一阀门、第二阀门及第三阀门;所述第一阀门和所述第二阀门设置在所述第一管路上,所述第三阀门设置在所述第二管路上;所述第二三通阀门包括第四阀门、第五阀门及第六阀门;所述第四阀门和所述第五阀门设置在所述第一管路上,所述第六阀门设置在所述第三管路上;
在清洗所述待清洗器件过程中,通过开启所述第一阀门、第二阀门、第四阀门和第五阀门,且关闭所述第三阀门和所述第六阀门,以使所述第一气体通过所述第一管路排出;
在所述待清洗器件清洗完成后,通过开启所述第二阀门和所述第三阀门,且关闭所述第一阀门、第四阀门、第五阀门和第六阀门,将所述第二液体通入至所述第一管路中,以清洗所述第一管路;
在所述第一管路清洗完成后,通过开启所述第一阀门、第二阀门、第五阀门和第六阀门,且关闭所述第三阀门和所述第四阀门,将所述第二气体通入至所述第一管路中,以干燥所述第一管路。
7.根据权利要求1所述的装置,其特征在于,所述清洗装置还包括移动部件,所述喷嘴设置在所述移动部件上,所述移动部件能够带动所述喷嘴在所述待清洗器件的上方移动;当所述喷嘴在所述待清洗器件的上方移动时,所述第一管路的进气口随着所述喷嘴的移动而移动。
8.根据权利要求1所述的装置,其特征在于,所述清洗装置还包括泵,所述泵与所述第一管路的出气口连接;通过所述泵的抽气作用将所述第一管路中的所述第一气体排出所述第一管路。
9.根据权利要求1所述的装置,其特征在于,所述清洗装置还包括第四管路、第五管路及第六管路;其中,
在清洗所述待清洗器件过程中,第三液体通过所述第五管路被输送至所述第四管路中,第四液体通过所述第六管路被输送至所述第四管路中;所述第三液体和所述第四液体在第四管路中混合形成所述第一液体;
所述第四管路与所述喷嘴连接,用于将所述第一液体输送至所述喷嘴中。
10.根据权利要求1所述的装置,其特征在于,所述清洗装置还包括积液槽,设置在所述承载部件的底部和外围,用于收集清洗残液。
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