[实用新型]一种硅片清洗用花篮固定装置

说明书

本实用新型涉及硅片加工技术领域，且公开了一种硅片清洗用花篮固定装置，包括底板、花篮主体和两个侧板，所述花篮主体与底板活动连接，两个所述侧板分别与底板的两侧固定连接，两个所述侧板相背的一侧均活动连接有活动推板，所述活动推板远离侧板的一侧固定连接有螺纹环。该硅片清洗用花篮固定装置，将花篮放置到底板上，通过旋转调节旋钮带动螺纹柱在螺纹环的内部转动，在螺纹的作用下使得螺纹环和活动推板向靠近花篮主体的一侧移动，推动导向杆和定位套向靠近花篮主体的一侧移动，使得定位套套在定位柱的表面，通过定位套和定位柱的作用，便于对花篮主体的位置进行定位固定，使得该装置达到了便于对花篮进行固定的效果。

技术领域

本实用新型涉及硅片加工技术领域，具体为一种硅片清洗用花篮固定装置。

背景技术

半导体器件生产中硅片须经严格清洗，因为微量污染会导致器件失效，清洗的目的在于清除表面污染杂质，包括有机物和无机物。清除污染的方法有物理清洗和化学清洗两种，在对硅片进行清洗时需要使用到硅片花篮来对硅片进行存放。

传统的硅片在进行清洗的过程中，通常是将装有硅片的花篮放置到清洗装置的内部进行清洗，在清洗的过程中花篮简单放置到清洗装置的内部，使得花篮在清洗的过程中固定效果不是很好，在清洗时可能会导致花篮的位置出现偏移，为此我们提出了一种硅片清洗用花篮固定装置。

实用新型内容

(一)解决的技术问题

针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种硅片清洗用花篮固定装置，具备便于对花篮的位置进行固定，防止在清洗的过程中硅片花篮的位置出现移动的优点，解决了上述背景技术中所提出的问题。

(二)技术方案

本实用新型提供如下技术方案：一种硅片清洗用花篮固定装置，包括底板、花篮主体和两个侧板，所述花篮主体与底板活动连接，两个所述侧板分别与底板的两侧固定连接，两个所述侧板相背的一侧均活动连接有活动推板，所述活动推板远离侧板的一侧固定连接有螺纹环，所述螺纹环的内部螺纹连接有螺纹柱，所述螺纹柱的一端固定连接有调节旋钮，所述螺纹柱远离调节旋钮的一端与侧板的内部活动连接，所述活动推板的一侧固定连接有导向杆，所述导向杆远离活动推板的一端固定连接有定位套，所述花篮主体的两侧均固定连接有定位柱，所述定位套与定位柱的侧表面套接。

优选的，所述螺纹柱远离调节旋钮的一端固定连接有限位圆盘，所述侧板的内部开设有圆槽，所述限位圆盘与圆槽的内部活动连接。

优选的，所述侧板的内部开设有导向槽，所述导向杆的侧表面与导向槽的内部活动插接。

优选的，两个所述侧板相对的一侧均固定连接有限位板，所述花篮主体的两侧均固定连接有限位块，所述限位块与限位板的内部活动连接。

优选的，所述花篮主体包括有两个提拉把手，两个所述提拉把手分别与花篮主体正面的两侧固定连接。

优选的，所述调节旋钮的侧表面设置有凸起结构。

与现有技术相比，本实用新型提供了一种硅片清洗用花篮固定装置，具备以下有益效果：

1、该硅片清洗用花篮固定装置，将花篮放置到底板上，通过旋转调节旋钮带动螺纹柱在螺纹环的内部转动，在螺纹的作用下使得螺纹环和活动推板向靠近花篮主体的一侧移动，推动导向杆和定位套向靠近花篮主体的一侧移动，使得定位套套在定位柱的表面，通过定位套和定位柱的作用，便于对花篮主体的位置进行定位固定，使得该装置达到了便于对花篮进行固定的效果。

2、该硅片清洗用花篮固定装置，通过设置有限位块和限位板，在将花篮主体放置到底板内部的过程中，限位块会插接到限位板的内部，通过限位块和限位板的作用可以初步对花篮主体的位置进行限位。

附图说明

图1为本实用新型结构示意图；