[实用新型]一种硅片清洗用花篮固定装置有效
| 申请号： | 202120157564.1 | 申请日： | 2021-01-20 |
| 公开（公告）号： | CN214378343U | 公开（公告）日： | 2021-10-08 |
| 发明（设计）人： | 陈锋;沈国君;陆勇;刘太盛 | 申请（专利权）人： | 浙江众晶电子有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/67 | 分类号： | H01L21/67;H01L21/673 |
| 代理公司： | 温州青科专利代理事务所(特殊普通合伙) 33390 | 代理人： | 钱磊 |
| 地址： | 324300 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 硅片 清洗 花篮 固定 装置 | ||
1.一种硅片清洗用花篮固定装置，包括底板(1)、花篮主体(2)和两个侧板(3)，其特征在于：所述花篮主体(2)与底板(1)活动连接，两个所述侧板(3)分别与底板(1)的两侧固定连接，两个所述侧板(3)相背的一侧均活动连接有活动推板(4)，所述活动推板(4)远离侧板(3)的一侧固定连接有螺纹环(5)，所述螺纹环(5)的内部螺纹连接有螺纹柱(6)，所述螺纹柱(6)的一端固定连接有调节旋钮(7)，所述螺纹柱(6)远离调节旋钮(7)的一端与侧板(3)的内部活动连接，所述活动推板(4)的一侧固定连接有导向杆(9)，所述导向杆(9)远离活动推板(4)的一端固定连接有定位套(10)，所述花篮主体(2)的两侧均固定连接有定位柱(11)，所述定位套(10)与定位柱(11)的侧表面套接。
2.根据权利要求1所述的一种硅片清洗用花篮固定装置，其特征在于：所述螺纹柱(6)远离调节旋钮(7)的一端固定连接有限位圆盘(8)，所述侧板(3)的内部开设有圆槽，所述限位圆盘(8)与圆槽的内部活动连接。
3.根据权利要求1所述的一种硅片清洗用花篮固定装置，其特征在于：所述侧板(3)的内部开设有导向槽(12)，所述导向杆(9)的侧表面与导向槽(12)的内部活动插接。
4.根据权利要求1所述的一种硅片清洗用花篮固定装置，其特征在于：两个所述侧板(3)相对的一侧均固定连接有限位板(14)，所述花篮主体(2)的两侧均固定连接有限位块(13)，所述限位块(13)与限位板(14)的内部活动连接。
5.根据权利要求1所述的一种硅片清洗用花篮固定装置，其特征在于：所述花篮主体(2)包括有两个提拉把手(15)，两个所述提拉把手(15)分别与花篮主体(2)正面的两侧固定连接。
6.根据权利要求1所述的一种硅片清洗用花篮固定装置，其特征在于：所述调节旋钮(7)的侧表面设置有凸起结构。
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H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
