[实用新型]一种射频分控装置和真空镀膜设备

权利要求书

1.一种射频分控装置，其特征在于，包括射频连接板(1)、射频分控板(2)和多个射频电极板(3)，多个所述射频电极板(3)分为多组，每组所述射频电极板(3)包括一个正射频电极板(31)和一个负射频电极板(32)，多组所述射频电极板(3)呈间隔排列设置；所述射频分控板(2)连接在所有的所述正射频电极板(31)上，所述射频连接板(1)设置在所有的所述负射频电极板(32)上；其中，所述射频分控板(2)包括主板(21)、支撑板(22)和多个支板(23)，所述主板(21)上设有正射频馈入点(211)，所述正射频馈入点(211)与匹配器电连接，所述支撑板(22)的一侧设置有所述主板(21)，另一相对侧设有多个所述支板(23)，多个所述支板(23)与多个所述正射频电极板(31)一一对应电连接。

2.如权利要求1所述的射频分控装置，其特征在于，多个所述支板(23)平行间隔排列设置。

3.如权利要求1所述的射频分控装置，其特征在于，每个所述支板(23)上均设有正射频馈出点(231)，所述正射频馈出点(231)与所述正射频电极板(31)电连接。

4.如权利要求1所述的射频分控装置，其特征在于，所述射频连接板(1)上设有连接片(11)，所述连接片(11)用于导入负极电压。

5.如权利要求1所述的射频分控装置，其特征在于，所述主板(21)可拆卸连接在所述支撑板(22)上。

6.如权利要求5所述的射频分控装置，其特征在于，所述主板(21)通过螺钉连接在所述支撑板(22)上。

7.如权利要求1所述的射频分控装置，其特征在于，所述主板(21)的长度方向与所述支板(23)的长度方向平行。

8.如权利要求7所述的射频分控装置，其特征在于，所述支撑板(22)的长度方向与所述主板(21)的长度方向垂直。

9.如权利要求1所述的射频分控装置，其特征在于，所述主板(21)的两端分别设有第一翻边(212)和第二翻边(213)，所述第一翻边(212)设置在所述支撑板(22)上，所述第二翻边(213)用于导入正极电压。

10.一种真空镀膜设备，其特征在于，包括权利要求1-9任一项所述的射频分控装置。