[实用新型]晶圆载运装置

权利要求书

1.一种晶圆载运装置，其特征在于，包括第一盖体(10)；所述第一盖体(10)包括第一本体(11)、形成于所述第一本体(11)中以收容晶圆的第一容置腔(12)、设置于所述第一本体(11)的内侧壁且朝所述第一容置腔(12)凸出以对晶圆进行限位的弹性限位件(13)。

2.根据权利要求1所述的晶圆载运装置，其特征在于，所述弹性限位件(13)呈筒状，所述弹性限位件(13)的内侧形成增加所述弹性限位件(13)弹性力的通孔(131)。

3.根据权利要求2所述的晶圆载运装置，其特征在于，所述弹性限位件(13)靠近所述第一容置腔(12)的底部设置的一端设有增加所述弹性限位件(13)弹性力的缺口(132)；

所述缺口(132)与所述通孔(131)连通。

4.根据权利要求1所述的晶圆载运装置，其特征在于，所述弹性限位件(13)为多个，多个所述弹性限位件(13)沿所述第一本体(11)的周向间隔设置。

5.根据权利要求4所述的晶圆载运装置，其特征在于，相邻设置的两个弹性限位件(13)之间的间隔形成供晶圆存放或拾取手指放置的第一手指位(15)。

6.根据权利要求1所述的晶圆载运装置，其特征在于，所述第一盖体(10)的底壁内侧设有对晶圆垫片进行限位的限位结构(14)。

7.根据权利要求6所述的晶圆载运装置，其特征在于，所述限位结构(14)包括设置于所述第一本体(11)的底壁且朝所述第一容置腔(12)凸出设置的多个限位凸筋。

8.根据权利要求5所述的晶圆载运装置，其特征在于，所述第一盖体(10)的外侧壁上设有第二手指位(16)。

9.根据权利要求1所述的晶圆载运装置，其特征在于，还包括与所述第一盖体(10)配合的第二盖体(20)；所述第二盖体(20)包括第二本体(21)以及形成于所述第二本体(21)中的第二容置腔(22)；

所述第二盖体(20)与所述第一盖体(10)通过设置连接结构可拆卸连接；

所述连接结构包括设置于所述第二本体(21)内侧壁且朝所述第二容置腔(22)凸出设置的卡台(23)、以及设置于所述第一盖体(10)外侧壁且与所述卡台(23)配合的卡勾(17)。

10.根据权利要求9所述的晶圆载运装置，其特征在于，所述第二盖体(20)的外侧壁上设有第三手指位(24)。