[实用新型]一种籽晶提拉装置

说明书

本实用新型提供一种籽晶提拉装置，包括电机、第一减速器、电磁离合器、第二减速器，所述电机的动力输出端与所述第一减速器的输入端连接，所述第一减速器的输入端还与所述电磁离合器的第一端连接，所述第一减速器的输出端与所述电磁离合器的第二端连接，所述电磁离合器的第二端还与所述第二减速器的输入轴连接，所述第二减速器的输出轴与卷曲轮连接，所述卷曲轮用于提拉籽晶。根据本实用新型实施例的籽晶提拉装置，通过电磁离合器控制籽晶提拉速度，从而方便籽晶在高速提拉与低速提拉之间的切换，可以有效提高籽晶的提拉效率，而且装置结构简单，传动效率高，稳定性好。

技术领域

本实用新型涉及单晶制备技术领域，具体涉及一种籽晶提拉装置。

背景技术

籽晶提拉机构是半导体直拉式单晶生长炉的核心部件，籽晶提拉机构的提拉运动精度及稳定性决定了半导体硅晶棒生长的品质。由于硅单晶生长工艺的需要，籽晶提拉机构的最小提升速度为0.1毫米每分钟，最大提升速度为800毫米每分钟，最高速度与最低速度相差数千倍，并且需要保证在最低速度及最高速度的模式下都能满足额定的负载。现有的籽晶提拉机构都是使用高低速两个电机进行速度切换动作，整体结构复杂，价格昂贵，传动效率也比较低。

实用新型内容

有鉴于此，本实用新型提供一种籽晶提拉装置，以解决现有技术中籽晶提拉机构使用高低速两个电机进行速度切换动作，整体结构复杂，价格昂贵，传动效率较低的问题。

为解决上述技术问题，本实用新型采用以下技术方案：

本实用新型实施例提供了一种籽晶提拉装置，该装置包括电机、第一减速器、电磁离合器和第二减速器，所述电机的动力输出端与所述第一减速器的输入端连接，所述第一减速器的输入端还与所述电磁离合器的第一端连接，所述第一减速器的输出端与所述电磁离合器的第二端连接，所述电磁离合器的第二端还与所述第二减速器的输入轴连接，所述第二减速器的输出轴与卷曲轮连接，所述卷曲轮用于提拉籽晶。

可选的，所述第一减速器为谐波减速器，所述第二减速器为涡轮蜗杆减速器。

可选的，还包括：

速度检测单元，所述速度检测单元用于检测籽晶的提拉速度。

可选的，所述速度检测单元为速度检测编码器，所述速度检测编码器设置于所述第二减速器的输入轴。

可选的，还包括：

位置检测单元，所述位置检测单元用于检测籽晶的位置。

可选的，所述位置检测单元为位置检测编码器，所述位置检测编码器设置于所述第二减速器的输出轴。

可选的，所述第一减速器的输入端和输出端设置有第一皮带轮，所述电磁离合器的第一端和第二端设置有第二皮带轮，所述第一减速器的输入端通过皮带与所述电磁离合器的第一端传动连接，所述第一减速器的输出端通过皮带与所述电磁离合器的第二端传动连接。

可选的，所述电磁离合器的第二端设置有第三皮带轮，所述第二减速器的输入轴设置有第四皮带轮，所述电磁离合器的第二端通过皮带与所述第二减速器的输入轴传动连接。

可选的，还包括：

花键轴和固定在所述花键轴上的花键，所述花键轴与所述第二减速器的输出轴同轴连接，所述花键与所述卷曲轮固定连接。

可选的，还包括：

控制单元，所述控制单元与所述电磁离合器连接，所述控制单元用于控制所述电磁离合器的开启与停止。

本实用新型上述技术方案的有益效果如下：

根据本实用新型实施例的籽晶提拉装置，通过电磁离合器控制籽晶提拉速度，从而方便籽晶在高速提拉与低速提拉之间的切换，可以有效提高籽晶的提拉效率，而且装置结构简单，传动效率高，稳定性好。