[实用新型]一种四氯化硅汽化器

说明书

本实用新型公开了一种四氯化硅汽化器，属于四氯化硅处理技术领域，本实用新型包括筒体、设置在筒体两端的封头、蒸汽筒节、蒸汽封头，筒体内设有与蒸汽进口、凝液出口相连的管束组件，筒内还设有与进料口相连的进料管道、管口组件，管口组件与进料管道形成L型，管口组件设置于管束组件的下方并平行于管束组件设置，本实用新型中设置管束组件用于传输蒸汽热源、管口组件用于输入四氯化硅，本实用新型中通过蒸汽对四氯化硅进行加热，汽化后的四氯化氢通过排气口排出。

技术领域

本实用新型涉及四氯化硅处理技术领域，具体涉及一种四氯化硅汽化器。

背景技术

随着近年来我国多晶硅生产规模的急剧扩大，液体副产物四氯化硅产生的数量将是一个庞大的数字，如何保证四氯化硅全部转化为三氯氢硅是制约多晶硅生产规模扩大的瓶颈。为了循环利用副产物四氯化硅，现在国际上通常采用两种方法对四氯化硅进行转化，一种是高温热氢化法，就是将四氯化硅与氢气在900～1200℃的温度下在氢化炉内部反应以生成三氯氢硅；另外一种方法为冷氢化法，主要是将四氯化硅与氢气混合后再与硅粉和催化剂在500～600℃下的温度通过流化床反应器生成三氯氢硅。

以上两种方式都需要对四氯化硅进行汽化，而常用的汽化方式主要是通过电加热方式对四氯化硅进行加热后汽化，此种加热方式由于能耗高，加热效果较差。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种四氯化硅汽化器。

本实用新型的技术方案是：一种四氯化硅汽化器，包括筒体、设置在筒体两端的封头，其中一端的封头上通过短节连接至蒸汽筒节的一端，蒸汽筒节的另一端设有蒸汽封头，蒸汽筒节上设有蒸汽进口与凝液出口，筒体上设置有进料口、排气口、安全阀口、残液排口，筒体内设有与蒸汽进口、凝液出口相连的管束组件，筒内还设有与进料口相连的进料管道、管口组件，管口组件与进料管道形成L型，管口组件设置于管束组件的下方并平行于管束组件设置，筒体的下方的两端还设有鞍座，残液排口设置于鞍座之间，鞍座上设置有静电接底板。

进一步的技术方案，蒸汽筒节靠近短节的一端设有第一法兰，短节靠近蒸汽筒节的一端设有第二法兰，第一法兰与第二法兰之间设有缠绕垫，第一法兰与第二法兰之间通过螺柱固定连接。

进一步的技术方案，缠绕垫与第一法兰、第二法兰之间均设有垫片。

进一步的技术方案，管束组件靠近蒸汽筒节的一端设有分程隔板。

本实用新型的有益效果：

本实用新型中设置有用于对传输蒸汽热源的管束组件、用于输入四氯化硅的管口组件，本实用新型中通过管束组件中的蒸汽在筒体内发生热交换，利用蒸汽带来的热量对四氯化硅进行加热使其汽化，汽化后的产物通过排气口排出。

附图说明

图1为本实用新型结构示意图，

其中，1、筒体，11、进料口，12、排气口，13、安全阀口，14、残液排口，15、进料管道，16、管口组件，17、鞍座，18、静电接底板，2、封头，3、短节，31、第二法兰，4、蒸汽筒节，41、蒸汽进口，42、凝液出口，43、第一法兰，44、分程隔板，5、蒸汽封头，6、管束组件，7、缠绕垫，71、垫片。

具体实施方式

下面通过非限制性实施例，进一步阐述本实用新型，理解本实用新型。

如图1所示，本实用新型提供了一种四氯化硅汽化器，包括筒体1、设置在筒体1两端的封头2，其中一端的封头2上通过短节3连接至蒸汽筒节4的一端，蒸汽筒节4靠近短节3的一端设有第一法兰43，短节3靠近蒸汽筒节4的一端设有第二法兰31，第一法兰43与第二法兰31之间设有缠绕垫7，第一法兰43与第二法兰31之间通过螺柱固定连接。缠绕垫7与第一法兰43、第二法兰31之间均设有垫片8，从而加强第一法兰43与第二法兰31之间的密封性。