[实用新型]一种四氯化硅汽化器

权利要求书

1.一种四氯化硅汽化器，包括筒体、设置在筒体两端的封头，其中一端的封头上通过短节连接至蒸汽筒节的一端，所述蒸汽筒节的另一端设有蒸汽封头，其特征在于：所述蒸汽筒节上设有蒸汽进口与凝液出口，所述筒体上设置有进料口、排气口、安全阀口、残液排口，所述筒体内设有与蒸汽进口、凝液出口相连的管束组件，所述筒内还设有与进料口相连的进料管道、管口组件，所述管口组件与进料管道形成L型，所述管口组件设置于管束组件的下方并平行于管束组件设置，所述筒体的下方的两端还设有鞍座，所述残液排口设置于鞍座之间，所述鞍座上设置有静电接底板。

2.根据权利要求1所述的一种四氯化硅汽化器，其特征在于：所述蒸汽筒节靠近短节的一端设有第一法兰，所述短节靠近蒸汽筒节的一端设有第二法兰，所述第一法兰与第二法兰之间设有缠绕垫，所述第一法兰与第二法兰之间通过螺柱固定连接。

3.根据权利要求2所述的一种四氯化硅汽化器，其特征在于：所述缠绕垫与第一法兰、第二法兰之间均设有垫片。

4.根据权利要求1所述的一种四氯化硅汽化器，其特征在于：所述管束组件靠近蒸汽筒节的一端设有分程隔板。