[实用新型]一种半导体设备用导电轴承

说明书

本实用新型提供一种半导体设备用导电轴承，包括轴承外圈、轴承内圈和滚球，所述的轴承内圈设在轴承外圈内，所述的轴承外圈与轴承内圈之间形成滚道，所述的滚道内滑动设有保护架，在保护架上设有多个滚球，所述的滚球贴合轴承外圈内壁、轴承内圈外壁设置，所述的轴承外圈、轴承内圈之间的左侧设有环形左板，该环形左板的外端固定在轴承外圈的内壁处，所述的轴承外圈、轴承内圈之间的右侧从左到右依次设有导电件、密封盖。本实用新型的有益效果是：设置的环形沿，有效防止其出现沟偏的现象；设置的密封盖和环形左板有效防止滚球和导电件表面沾有的灰尘的现象，提高设备使用寿命。

技术领域

本实用新型属于轴承技术领域，尤其是涉及一种半导体设备用导电轴承。

背景技术

轴承是当代机械设备中一种重要零部件。它的主要功能是支撑机械旋转体，降低其运动过程中的摩擦系数，并保证其回转精度。半导体设备用的导电轴承要求轴承具备良好的导电功能，目前导电轴承存在以下问题：轴承在使用时存在沟偏的现象，使得设备无法正常使用；而且在导电附件处如果附着有灰尘，影响导电性能。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种半导体设备用导电轴承，其有效防止出现沟偏的现象，防止导电附件处附着灰尘，提高设备使用寿命，尤其适合用在半导体设备中。

本实用新型的技术方案是：一种半导体设备用导电轴承，包括轴承外圈、轴承内圈和滚球，所述的轴承内圈设在轴承外圈内，所述的轴承外圈与轴承内圈之间形成滚道，所述的滚道内滑动设有保护架，在保护架上设有多个滚球，所述的滚球贴合轴承外圈内壁、轴承内圈外壁设置，所述的轴承外圈、轴承内圈之间的左侧设有环形左板，该环形左板的外端固定在轴承外圈的内壁处，所述的轴承外圈、轴承内圈之间的右侧从左到右依次设有导电件、密封盖，所述的导电件外端与轴承外圈内壁电连接，导电件的内端接触在轴承内圈内壁上，轴承外圈外侧中间部分环周设有环形沿。

优选地，所述的导电件的内端通过弹性块接触在轴承内圈内壁上。

优选地，所述的环形左板的内端靠近轴承内圈的外壁设置。

优选地，所述的导电件为环形黄铜盘。

优选地，所述的轴承外圈内壁设有与导电件外端相配合的滑槽，导电件滑动设在滑槽内。

优选地，所述的轴承外圈内壁设有与密封盖外端相配合的滑轨，密封盖滑动设在滑轨内。

本实用新型具有的优点和积极效果是：由于采用上述技术方案，设置的环形沿，有效防止其出现沟偏的现象；设置的密封盖和环形左板有效防止滚球和导电件表面沾有的灰尘的现象，提高设备使用寿命。

附图说明

图1是本实用新型的结构示意图。

图2是本实用新型的A-A方向剖视图。

图中：

1、轴承外圈 2、轴承内圈 3、滚球

4、导电件 5、密封盖 6、环形左板

7、保护架 8、环形沿

具体实施方式

如图1、2所示，本实用新型的技术方案为一种半导体设备用导电轴承，包括轴承外圈1、轴承内圈2和滚球3，所述的轴承内圈2设在轴承外圈1内，所述的轴承外圈1与轴承内圈2之间形成滚道，所述的滚道内滑动设有保护架7，在保护架7上设有多个滚球3，所述的滚球3贴合轴承外圈1内壁、轴承内圈2外壁设置，所述的轴承外圈1、轴承内圈2之间的左侧设有环形左板6，该环形左板6的外端固定在轴承外圈1的内壁处，所述的轴承外圈1、轴承内圈2之间的右侧从左到右依次设有导电件4、密封盖5，所述的导电件4外端与轴承外圈1内壁电连接，导电件4的内端接触在轴承内圈1内壁上，轴承外圈1外侧中间部分环周设有环形沿8。