[实用新型]一种半导体设备用导电轴承

权利要求书

1.一种半导体设备用导电轴承，其特征在于：包括轴承外圈、轴承内圈和滚球，所述的轴承内圈设在轴承外圈内，所述的轴承外圈与轴承内圈之间形成滚道，所述的滚道内滑动设有保护架，在保护架上设有多个滚球，所述的滚球贴合轴承外圈内壁、轴承内圈外壁设置，所述的轴承外圈、轴承内圈之间的左侧设有环形左板，该环形左板的外端固定在轴承外圈的内壁处，所述的轴承外圈、轴承内圈之间的右侧从左到右依次设有导电件、密封盖，所述的导电件外端与轴承外圈内壁电连接，导电件的内端接触在轴承内圈内壁上，轴承外圈外侧中间部分环周设有环形沿。

2.根据权利要求1所述的一种半导体设备用导电轴承，其特征在于：所述的导电件的内端通过弹性块接触在轴承内圈内壁上。

3.根据权利要求1所述的一种半导体设备用导电轴承，其特征在于：所述的环形左板的内端靠近轴承内圈的外壁设置。

4.根据权利要求1所述的一种半导体设备用导电轴承，其特征在于：所述的导电件为环形黄铜盘。

5.根据权利要求1所述的一种半导体设备用导电轴承，其特征在于：所述的轴承外圈内壁设有与导电件外端相配合的滑槽，导电件滑动设在滑槽内。

6.根据权利要求1所述的一种半导体设备用导电轴承，其特征在于：所述的轴承外圈内壁设有与密封盖外端相配合的滑轨，密封盖滑动设在滑轨内。