[实用新型]一种不易脱落的芯片制造检测工装有效
申请号: | 202120066218.2 | 申请日: | 2021-01-11 |
公开(公告)号: | CN215297564U | 公开(公告)日: | 2021-12-24 |
发明(设计)人: | 王如才 | 申请(专利权)人: | 苏州德旭玛精密机械股份有限公司 |
主分类号: | G01R31/28 | 分类号: | G01R31/28 |
代理公司: | 上海宏京知识产权代理事务所(普通合伙) 31297 | 代理人: | 王晓蕾 |
地址: | 215153 江苏省苏州*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 不易 脱落 芯片 制造 检测 工装 | ||
本实用新型公开了一种不易脱落的芯片制造检测工装,包括下模板,所述下模板的顶部开设有下模槽,所述下模板底部的中心处通过连接轴承活动连接有螺杆,所述螺杆表面的底部螺纹套设有横板,所述横板的顶部固定连接有连接块,所述连接块的顶部贯穿下模板并延伸至下模槽的内腔,所述下模板的顶部设置有上模板。本实用新型通过设置下模板、连接块、螺杆、下模槽、固定套、通槽、上模槽、上模板、竖杆、定位孔、定位杆、横板、弹簧和固定块配合使用,具有不易脱落和快速取出的优点,解决了现有的检测工装容易造成芯片脱落,影响检测效率,且无法快速将芯片取出,存在一定的限制性,降低了检测工装实用性的问题。
技术领域
本实用新型涉及芯片制造技术领域,具体为一种不易脱落的芯片制造检测工装。
背景技术
芯片,是半导体元件的总称,又称集成电路,或微电路、微芯片、晶片/芯片,在电子学中是一种将电路(主要包括半导体设备,也包括被动组件等)小型化的方式,并时常制造在半导体晶圆表面上。
在芯片实际制造过程中,为了检测芯片的合格率,会使用到检测工装对成品芯片夹持放置,从而便于芯片的检测,而检测一般分为外观表面检测和实际性能检测,现有的检测工装容易造成芯片脱落,影响检测效率,且无法快速将芯片取出,存在一定的限制性,降低了检测工装的实用性。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种不易脱落的芯片制造检测工装,具备不易脱落和快速取出的优点,解决了现有的检测工装容易造成芯片脱落,影响检测效率,且无法快速将芯片取出,存在一定的限制性,降低了检测工装实用性的问题。
为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:一种不易脱落的芯片制造检测工装,包括下模板,所述下模板的顶部开设有下模槽,所述下模板底部的中心处通过连接轴承活动连接有螺杆,所述螺杆表面的底部螺纹套设有横板,所述横板的顶部固定连接有连接块,所述连接块的顶部贯穿下模板并延伸至下模槽的内腔,所述下模板的顶部设置有上模板,所述上模板的底部开设有上模槽,所述上模槽内腔的顶部开设有通槽,所述上模板底部的两侧均固定连接有竖杆,所述竖杆的底部贯穿至下模板的底部,所述竖杆表面的底部开设有定位孔,所述横板的底部设置有固定套,所述固定套内腔的中心处固定连接有固定块,所述固定块的两侧均固定连接有弹簧,所述弹簧远离固定块的一侧固定连接有定位杆,所述定位杆远离弹簧的一侧依次贯穿固定套和定位孔。
优选的,所述下模板的两侧均固定连接有安装板,所述安装板的顶部贯穿设置有安装螺栓。
优选的,所述固定套顶部的中心处固定连接有轴承座,所述螺杆表面的底部通过活动轴承与轴承座的内腔活动连接。
优选的,所述螺杆表面的底部固定连接有推杆,所述下模槽和上模槽的内壁均固定连接有导热橡胶垫。
优选的,所述下模槽内腔底部的两侧均固定连接有散热片,所述散热片的底部贯穿至下模板的底部。
优选的,所述下模板顶部的两侧均开设有与竖杆配合使用的通孔,所述下模槽内腔的底部开设有与连接块配合使用的凹槽。
优选的,所述定位杆的表面与固定套和定位孔的连接处均滑动接触,所述固定套的横向长度大于两个定位杆横向长度之和。
优选的,所述定位孔的数量为若干个,所述弹簧自然状态下为拉伸状态。
与现有技术相比,本实用新型的有益效果如下:
1、本实用新型通过设置下模板、连接块、螺杆、下模槽、固定套、通槽、上模槽、上模板、竖杆、定位孔、定位杆、横板、弹簧和固定块配合使用,具有不易脱落和快速取出的优点,解决了现有的检测工装容易造成芯片脱落,影响检测效率,且无法快速将芯片取出,存在一定的限制性,降低了检测工装实用性的问题。
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