[实用新型]一种可调节式多级晶圆对位装置

权利要求书

1.一种可调节式多级晶圆对位装置，其特征是，包括机箱（2）、吸盘（4）、红外传感器（5）、相对布置的一对固定件（1），所述吸盘安装于机箱顶部中心位置，所述红外传感器安装于机箱一侧，用于感测晶圆的平缺口；一对固定件分别安装于吸盘两侧，用于固定吸盘处的晶圆。

2.根据权利要求1所述的一种可调节式多级晶圆对位装置，其特征是，所述吸盘上方设有相机（19），所述相机通过支架（18）与机箱连接。

3.根据权利要求1所述的一种可调节式多级晶圆对位装置，其特征是，所述固定件的底部安装有导向杆（10），所述导向杆下方设有丝杠（12），所述丝杠两端由前挡板和后挡板固定于机箱；所述固定件分别与导向杆滑动配合、与丝杠螺纹配合，通过进给电机（13）驱动丝杠，带动固定件靠近或远离吸盘平移。

4.根据权利要求3所述的一种可调节式多级晶圆对位装置，其特征是，所述丝杠外侧装有同步带轮（11），所述进给电机通过电机固定架固定在机箱上，所述进给电机通过同步带轮驱动丝杠。

5.根据权利要求1所述的一种可调节式多级晶圆对位装置，其特征是，所述机箱底部固定有中心电机（17），中心电机与吸盘固定杆（15）通过联轴器（16）相连，所述吸盘通过吸盘固定圆盘（14）与吸盘固定杆顶部相连。

6.根据权利要求5所述的一种可调节式多级晶圆对位装置，其特征是，所述吸盘下方装有气管（20），所述气管与气泵（22）相联，所述气泵与气管相联处装有阀（21），以控制气流大小。

7.根据权利要求1所述的一种可调节式多级晶圆对位装置，其特征是，所述红外传感器通过传感器固定件（6）安装于机箱，所述传感器固定件通过粗调螺母（7）或细调螺母（8）与机箱相连，通过旋转粗调螺母或细调螺母改变传感器固定件与吸盘之间的距离。

8.根据权利要求1所述的一种可调节式多级晶圆对位装置，其特征是，所述红外传感器为相对布置的两组红外传感器，当晶圆的平缺口与两组传感器的红外连线重合，晶圆完成定位。

9.根据权利要求1所述的一种可调节式多级晶圆对位装置，其特征是，所述固定件通过套筒（3）与晶圆接触，所述套筒通过转轴与固定件转动连接，且套筒为柔性材料制作，套筒的轴线垂直于晶圆。

10.根据权利要求1所述的一种可调节式多级晶圆对位装置，其特征是，所述吸盘上设有气体的导流槽。