[实用新型]探针卡装置有效
| 申请号： | 202120055746.8 | 申请日： | 2021-01-08 |
| 公开（公告）号： | CN214473542U | 公开（公告）日： | 2021-10-22 |
| 发明（设计）人： | 刘俊良 | 申请（专利权）人： | 迪科特测试科技（苏州）有限公司 |
| 主分类号： | G01R1/073 | 分类号： | G01R1/073 |
| 代理公司： | 成都超凡明远知识产权代理有限公司 51258 | 代理人： | 魏彦 |
| 地址： | 215125 江苏省苏州市苏州工业园*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 探针 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种探针卡装置，其特征在于，所述探针卡装置包括：
一电路基板；
一中介板，耦接于所述电路基板；
一转接板，直接耦接于所述中介板且不与所述电路基板相接触；以及
一探针组件，包括多个探针，所述探针组件耦接于所述转接板，且所述探针组件通过所述中介板及所述转接板电性连接于所述电路基板，每一所述探针的一端分别电性连接所述电路基板，另一端接触一待测物，其中，所述中介板、所述转接板与所述待测物具有相同的材料特性。
2.根据权利要求1所述的探针卡装置，其特征在于，所述中介板与所述转接板为二合一的一体成型结构。
3.根据权利要求1所述的探针卡装置，其特征在于，所述探针组件包括垂直式探针。
4.根据权利要求1所述的探针卡装置，其特征在于，所述材料特性包括硬度、延展性、导电性或热膨胀系数。
5.根据权利要求1所述的探针卡装置，其特征在于，所述中介板与所述转接板的组成材料包括氮化硅、氮化铝、碳化硅、氧化锌、氮化镓或砷化镓。
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