[实用新型]一种大尺寸晶圆片片篮盖体

说明书

本实用新型提供一种大尺寸晶圆片片篮盖体，用于盖合片篮，盖体内嵌于所述片篮且与所述片篮分开设置；所述盖体靠近所述片篮一侧设有与所述体槽组相对应的盖槽组；晶圆片与所述盖槽组接触并被置于所述片篮放置。本实用新型承载装置，尤其适用于大尺寸晶圆片片篮的盖合，可提高晶圆片放置的稳定性，降低晶圆片在运输搬运过程中的碎片率；保证产品质量，提高搬运效率。

技术领域

本实用新型属于半导体硅片生产辅助设备技术领域，尤其是涉及一种大尺寸晶圆片片篮盖体。

背景技术

对于大尺寸晶圆片，如直径为12英寸和18英寸的晶圆片，甚至更大直径的晶圆片，其加工工艺复杂且生成工序较多，晶片面积增大导致其加工成本要高，一旦发生任何质量问题，对于生产成本。发现在运输传递过程中极易出现碎片，就是晶圆片在片篮中放置时，极易出现晃动，导致晶圆片发生裂片。因此，如何降低晶圆片在运输传递过程过程中的碎片率，是嗦待解决的技术问题。

实用新型内容

本实用新型提供一种大尺寸晶圆片片篮盖体，尤其是适用于大尺寸晶圆片片篮的盖合，解决了在运输过程中降低碎片率、保证晶圆片质量的技术问题。

为解决上述技术问题，本实用新型采用的技术方案是：

一种大尺寸晶圆片片篮盖体，用于盖合片篮，盖体内嵌于所述片篮且与所述片篮分开设置；所述盖体靠近所述片篮一侧设有与所述片篮内插槽相对应的盖槽组；晶圆片与所述盖槽组接触并被置于所述片篮内放置。

进一步的，所述盖槽组沿所述盖体长度并位于其长度中间设置。

进一步的，所述盖槽组包括若干个间隙设置的卡条；在每个卡条上均设有若干间隔设置的Z型槽。

进一步的，所述Z型槽沿所述卡条的长度方向平行于所述卡条设置。

进一步的，每个所述卡条中的所述Z型槽沿所述卡条的长度方向同向和/或反向设置。

进一步的，相邻所述卡条中的所述Z型槽并排设置或交错设置。

进一步的，每一个所述卡条至少设有两个所述Z型槽。

进一步的，所述卡条长度小于所述盖体长度的1/2且大于所述盖体长度的1/4。

进一步的，在所述盖体远离所述片篮一侧设有两个用于操作所述盖体的凹槽柄，所述凹槽柄相对于所述盖槽组对称设置。

进一步的，所述凹槽柄为圆形结构，包括两个对角设置的扇形槽和两个对角设置的圆弧形孔。

与现有技术相比，采用本实用新型设计的盖体，尤其适用于大尺寸晶圆片片篮的盖合，通过在盖体内侧顶部设置Z型结构的花纹槽，使每片晶圆片的上端部嵌入放置，从而减小了晶圆片在传递运输过程中的晃动，降低碎片发生；盖体结构设计合理、强度高、易于与片篮装配且便于操作；不仅可提高晶圆片放置的稳定性，保证晶圆片放置平稳、安全；而且防止晶圆片被污染，提高晶圆片在运输搬运过程中的成品率，保证产品质量，提高搬运效率。

附图说明

图1是本实用新型一实施例的盖体的结构示意图；

图2是本实用新型一实施例的盖体的正面结构示意图；

图3是本实用新型实施例一的盖槽组中Z型槽分布的结构示意图；

图4是本实用新型实施例二的盖槽组中Z型槽分布的结构示意图；

图5是本实用新型实施例三的盖槽组中Z型槽分布的结构示意图；

图6是本实用新型实施例四的盖槽组中Z型槽分布的结构示意图；

图7是本实用新型实施例五的盖槽组中Z型槽分布的结构示意图。

图中：