[发明专利]一种粘附卡盘及适用该产品的基板粘贴装置

说明书

本发明涉及基板技术领域，尤其为一种粘附卡盘及适用该产品的基板粘贴装置，包括：底座，所述底座的顶部固定连接有基板卡盘一，所述基板卡盘一的顶部设置有第一表面板，所述第一表面板的顶部设置有基板卡盘二。本发明通过基板卡盘一、第一表面板、基板卡盘二、电动升降销、第二基板、第二表面板、单元黏胶模块、提升结构、真空吸盘、第一基板和提升单元的配合使用，达到便于对基板进行粘结，且制造成本低的作用，且通过粘结卡盘的设置，起到了便于对基板粘结，使得基板的工作环境安全性好，结构简单，从而避免基板出现磨损的情况和便于后期维护，使得该粘附卡盘及适用该产品的基板粘贴装置具备制造成本低、便于维护的优点。

技术领域

本发明涉及基板技术领域，具体为一种粘附卡盘及适用该产品的基板粘贴装置。

背景技术

随着信息化社会的发展，人们对显示设备的要求也以各种形式不断增加，因此，近年来研究出了LCD、OELD和透明显示屏等多种平板显示设备，其中一些已经广泛用于现实生活中，其中LCD因其画质优良、轻质、薄型、低功耗等特点而被广泛用于移动型图像显示设备，LCD是通过在含有电极形成的TFT基板和涂有荧光体的CF基板之间注入液晶而形成的，在量基板的外包面上具备封条材，封条材用于阻止液晶物质泄漏，量基板之间布置有间隔材料，用于保持量基板之间的间隔；因此，在制造LCD时，必须先分别制造TFT基板和CF基板，然后在两者之间的空间内注入液晶物质，而双基板的连接工艺是决定LCD质量的工艺；通常基板粘附工艺由一个由上室和下室组成的基板粘附装置来执行，接着可以使内部形成真空状态；另一方面，根据上述以往技术及这些专利的基板的粘附是通过利用压力将阵列基板与彩色滤光片相互加压来实现的。为此，基板粘附装置分别配备上下对向布置的两个静电卡盘，并在这些静电卡盘上粘合基板，然后在保持扬程前尺平行度精密的同时，使其彼此接近，然后进行两基板的粘附。

基板粘附装置大多是在基板粘附时营造真空环境进行工艺，当最初的基板运入时，基板粘附装置内部处于大气压状态，接着利用真空吸附器对基板进行吸附，之后当基板粘附装置内部形成真空环境时，利用静电卡盘对基板进行粘合也就是说，利用两种不同的物理力来支撑基板，但现有基片粘附装置的静电卡盘大多是在聚酰亚胺上形成金属图案的形式制作的，从而存在制造成本高的弊端，其次在工艺进行时，若基板破损出现破损情况，基板上的异物颗粒会导致涂敷在静电卡盘表面的聚酰亚胺薄膜损坏，从而影响制造进度，为解决上述问题，一种粘附卡盘及适用该产品的基板粘贴装置，亟待开发。

发明内容

本发明的目的在于提供一种粘附卡盘及适用该产品的基板粘贴装置，具备制造成本低、便于维护的优点，解决了现有基片粘附装置的静电卡盘大多是在聚酰亚胺上形成金属图案的形式制作的，从而存在制造成本高的弊端，其次在工艺进行时，若基板破损出现破损情况，基板上的异物颗粒会导致涂敷在静电卡盘表面的聚酰亚胺薄膜损坏，从而影响制造进度的问题。

为达成上述目的，本发明提供如下技术方案：一种粘附卡盘及适用该产品的基板粘贴装置，包括：底座，所述底座的顶部固定连接有基板卡盘一，所述基板卡盘一的顶部设置有第一表面板，所述第一表面板的顶部设置有基板卡盘二，所述基板卡盘一的一侧贯穿设置有若干个电动升降销，所述电动升降销的顶端贯穿至基板卡盘二的顶部并固定连接有第二基板。

所述底座的上方设置有第一腔室，且第一腔室包含有位于底座上方的第二表面板，所述第二表面板的顶部设置有粘合卡盘，所述粘合卡盘的底部固定连接有单元黏胶模块，所述单元黏胶模块包含有与粘合卡盘固定连接的安装板，所述安装板的一侧固定连接有两个对称设置的第一粘合橡胶，所述安装板内腔的两侧均设置有第二粘合橡胶，所述粘合卡盘的顶部设置有若干个提升结构，所述提升结构的底部与第二粘合橡胶固定连接，所述粘合卡盘的顶部的两侧设置有真空吸盘，所述真空吸盘的底部贯穿至第二表面板的底部并固定连接有第一基板，所述底座顶部的四角均固定连接有提升单元，所述提升单元的顶部与粘合卡盘固定连接。

进一步的，作为本发明一种优选的，所述安装板的数量为若干个，且安装板以矩阵形式布置在粘合卡盘的表面。