[发明专利]一种粘附卡盘及适用该产品的基板粘贴装置

权利要求书

1.一种粘附卡盘及适用该产品的基板粘贴装置，包括：底座(1)，其特征在于：所述底座(1)的顶部固定连接有基板卡盘一(2)，所述基板卡盘一(2)的顶部设置有第一表面板(3)，所述第一表面板(3)的顶部设置有基板卡盘二(4)，所述基板卡盘一(2)的一侧贯穿设置有若干个电动升降销(5)，所述电动升降销(5)的顶端贯穿至基板卡盘二(4)的顶部并固定连接有第二基板(6)；

所述底座(1)的上方设置有第一腔室，且第一腔室包含有位于底座(1)上方的第二表面板(7)，所述第二表面板(7)的顶部设置有粘合卡盘(8)，所述粘合卡盘(8)的底部固定连接有单元黏胶模块(9)，所述单元黏胶模块(9)包含有与粘合卡盘(8)固定连接的安装板(91)，所述安装板(91)的一侧固定连接有两个对称设置的第一粘合橡胶(92)，所述安装板(91)内腔的两侧均设置有第二粘合橡胶(93)，所述粘合卡盘(8)的顶部设置有若干个提升结构(10)，所述提升结构(10)的底部与第二粘合橡胶(93)固定连接，所述粘合卡盘(8)的顶部的两侧设置有真空吸盘(11)，所述真空吸盘(11)的底部贯穿至第二表面板(7)的底部并固定连接有第一基板(12)，所述底座(1)顶部的四角均固定连接有提升单元(13)，所述提升单元(13)的顶部与粘合卡盘(8)固定连接。

2.根据权利要求1所述的一种粘附卡盘及适用该产品的基板粘贴装置，其特征在于：所述安装板(91)的数量为若干个，且安装板(91)以矩阵形式布置在粘合卡盘(8)的表面。

3.根据权利要求1所述的一种粘附卡盘及适用该产品的基板粘贴装置，其特征在于：所述粘合卡盘(8)顶部的两侧均设置有相机(14)，所述基板卡盘一(2)底部的两侧均固定连接有照明装置(15)，所述第二表面板(7)和粘合卡盘(8)顶部的两侧均开设有与相机(14)相适配的通孔一，所述基板卡盘一(2)、第一表面板(3)和基板卡盘二(4)顶部的两侧均开设有与照明装置(15)相适配的通孔二。

4.根据权利要求1所述的一种粘附卡盘及适用该产品的基板粘贴装置，其特征在于：所述底座(1)的形状为凸形。

5.根据权利要求1所述的一种粘附卡盘及适用该产品的基板粘贴装置，其特征在于：所述粘合卡盘(8)内腔相对一侧的底部均开设有凹槽(16)，所述基板卡盘一(2)顶部的两侧均设置有与凹槽(16)显示配的感应器(17)。

6.根据权利要求1所述的一种粘附卡盘及适用该产品的基板粘贴装置，其特征在于：所述第二基板(6)和第一基板(12)之间的构造相同。

7.根据权利要求1所述的一种粘附卡盘及适用该产品的基板粘贴装置，其特征在于：所述第一粘合橡胶(92)和第二粘合橡胶(93)是含有少量硅原子键合的烯基有机聚硅氧烷、有机氢聚硅氧烷，并且通过固化获得以加成反应催化剂等为主要成分的加成反应固化型硅橡胶组合物。

8.根据权利要求1所述的一种粘附卡盘及适用该产品的基板粘贴装置，其特征在于：所述基板卡盘一(2)为静电卡盘，其通过静电力吸附对第二基板(6)进行固定。

9.根据权利要求1所述的一种粘附卡盘及适用该产品的基板粘贴装置，其特征在于：所述第二粘合橡胶(93)与第一基板(12)的接触面积大于第一粘合橡胶(92)与第一基板(12)的接触面积。

10.根据权利要求1所述的一种粘附卡盘及适用该产品的基板粘贴装置，其特征在于：所述第一粘合橡胶(92)或第二粘合橡胶(93)中至少一个横截面为曲面的周边。