[发明专利]一种用于CVD设备的多面漏斗型进气装置及CVD设备

权利要求书

1.一种用于CVD设备的多面漏斗型进气装置，包括多面管体(1)以及固定安装在所述多面管体(1)上的多个进气管(3)，其特征在于，每个所述进气管(3)上均固定安装有呈竖直设置的分隔板(6)，所述进气管(3)上固定连接有第一通气管(4)以及第二通气管(22)，所述分隔板(6)两侧均固定安装有支撑架(15)，每个所述支撑架(15)均和所述进气管(3)内壁固定连接，所述进气管(3)上开设有用于安装所述分隔板(6)的安装腔(23)；

每个所述支撑架(15)上均固定安装有伸缩板，所述伸缩板包括第一滑动板以及第二滑动板(13)，所述第一滑动板和所述支撑架(15)固定连接，所述第二滑动板(13)和所述第一滑动板滑动连接，每个所述第二滑动板(13)上均固定连接有固定套(8)，所述进气管(3)上转动安装有呈横向设置的双向丝杆(7)，所述双向丝杆(7)上固定连接有密封圈；

每个所述固定套(8)均和所述双向丝杆(7)螺纹连接，所述双向丝杆(7)上固定连接有齿轮(12)，所述进气管(3)上滑动安装有和所述齿轮(12)配合使用的齿条板(9)，所述进气管(3)上滑动安装有两个呈对称设置的导流板(5)，两个所述导流板(5)均设置在所述齿条板(9)的上方；

所述双向丝杆(7)远离所述进气管(3)的一端固定连接有把手(18)，所述把手(18)上设置有限位机构，所述限位机构包括和所述把手(18)滑动连接的限位杆(21)，所述限位杆(21)一端和所述进气管(3)卡接。

2.根据权利要求1所述的一种用于CVD设备的多面漏斗型进气装置，其特征在于,所述进气管(3)上开设有用于安装所述齿条板(9)的滑槽，所述滑槽内滑动安装有滑动块(10)，所述滑动块(10)和所述齿条板(9)固定连接，所述齿条板(9)和所述齿轮(12)啮合连接。

3.根据权利要求1所述的一种用于CVD设备的多面漏斗型进气装置，其特征在于，每个所述导流板(5)上均固定连接有固定块(16)，每个所述固定块(16)上均铰接有转动杆(11)，所述转动杆(11)远离所述固定块(16)的一端和所述齿条板(9)铰接。

4.根据权利要求1所述的一种用于CVD设备的多面漏斗型进气装置，其特征在于，所述进气管(3)上开设有用于连接所述导流板(5)的限位槽(14)，每个所述导流板(5)均和所述限位槽(14)滑动连接。

5.根据权利要求1所述的一种用于CVD设备的多面漏斗型进气装置，其特征在于，每个所述限位杆(21)上均固定连接有弹簧(20)，所述弹簧(20)和所述把手(18)固定连接。

6.根据权利要求1所述的一种用于CVD设备的多面漏斗型进气装置，其特征在于，每个所述限位杆(21)上均螺纹连接有限位块(19)，所述限位块(19)用于限制所述限位杆(21)的滑动，所述进气管(3)上开设有多个呈环形设置的卡槽(17)，所述限位杆(21)和所述卡槽(17)卡接。

7.根据权利要求1所述的一种用于CVD设备的多面漏斗型进气装置，其特征在于，每个所述支撑架(15)上均固定连接有两个呈对称设置的密封垫，每个所述第二滑动板(13)均安装在两个所述密封垫之间。

8.根据权利要求1所述的一种用于CVD设备的多面漏斗型进气装置，其特征在于，所述多面管体(1)上开设有用于气体流通的固定腔，所述固定腔下内壁固定安装有横截面呈多边环形设置的安装板(2)。

9.一种CVD设备，其特征在于，包括权利要求1-8中任一项所述的多面漏斗型进气装置。