[发明专利]检查装置和带扩展装置

权利要求书

1.一种检查装置，其在确认通过将处于第1面侧粘贴于带的状态的板状的工件沿着分割预定线进行分割而得到的两个相邻的芯片的间隔时使用，其中，

该检查装置包含：

工作台，其对按照围绕该工件的方式粘贴于该带的环状的框架进行保持；

光源，其对借助该框架和该带而保持于该工作台的该工件的该第1面或该第1面的相反侧的第2面照射光；

照相机，其对该第1面和该第2面中的未被该光源照射光的一方进行拍摄而生成图像；

阈值存储部，其存储通过该照相机而生成的图像中所映现的两个相邻的该芯片之间的像素的亮度的阈值；

评价图像生成部，其生成根据利用该阈值进行划分的该亮度的分类而对该像素赋予了不同颜色的评价图像；

图像显示部，其将该评价图像显示在显示装置上；以及

阈值变更部，其将该阈值进行变更并存储于该阈值存储部。

2.根据权利要求1所述的检查装置，其中，

在将通过该阈值变更部而变更的该阈值存储于该阈值存储部的情况下，

该评价图像生成部再次生成与变更后的该阈值对应的该评价图像，

该图像显示部使通过该评价图像生成部而再次生成的该评价图像显示在该显示装置上。

3.根据权利要求1或2所述的检查装置，其中，

该阈值变更部根据显示在该显示装置上的滑动条的钮部的位置而变更该阈值。

4.一种带扩展装置，其包含：

权利要求1至3中的任意一项所述的检查装置；以及

在该框架被保持于该工作台的状态下对该带进行扩展的带扩展单元。