[发明专利]一种太阳能电池的激光掺杂图形结构及其加工方法在审
申请号: | 202111669220.X | 申请日: | 2021-12-30 |
公开(公告)号: | CN114335199A | 公开(公告)日: | 2022-04-12 |
发明(设计)人: | 王晓蕾;贾静;顾浩;周家将;丁峰;霍佳徐 | 申请(专利权)人: | 苏州腾晖光伏技术有限公司 |
主分类号: | H01L31/0224 | 分类号: | H01L31/0224;H01L31/068;H01L31/18 |
代理公司: | 苏州华博知识产权代理有限公司 32232 | 代理人: | 杨敏 |
地址: | 215000 江苏省苏州*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 太阳能电池 激光 掺杂 图形 结构 及其 加工 方法 | ||
1.一种太阳能电池的激光掺杂图形结构,其特征在于,所述太阳能电池包括丝网印刷正银电极,所述丝网印刷正银电极包括主栅线、副栅线;所述激光掺杂图形结构设于所述丝网印刷正银电极上,其包括:
主栅线图层,其包括若干条平行设置的主栅线掺杂带;
副栅线图层,其位于所述主栅线图层远离激光加工台面的一侧;所述副栅线图层包括若干条平行设置的副栅线掺杂带,所述副栅线掺杂带、所述主栅线掺杂带两者相互垂直。
2.根据权利要求1所述的太阳能电池的激光掺杂图形结构,其特征在于,所述主栅线图层包括第一主栅线图层、第二主栅线图层,两者关于中间镂空图层对称排布。
3.根据权利要求2所述的太阳能电池的激光掺杂图形结构,其特征在于,所述主栅线掺杂带包括外侧主栅线掺杂带、内侧主栅线掺杂带,所述外侧主栅线掺杂带的长度小于所述内侧主栅线掺杂带的长度,用于协助定位相机进行定位判断。
4.根据权利要求3所述的太阳能电池的激光掺杂图形结构,其特征在于,所述副栅线掺杂带包括若干条外侧副栅线掺杂带、若干条内侧副栅线掺杂带,所述外侧副栅线掺杂带的长度小于所述内侧副栅线掺杂带的长度,且所有外侧副栅线掺杂带的长度依次递减。
5.根据权利要求3或4所述的太阳能电池的激光掺杂图形结构,其特征在于,所述激光掺杂图形结构还包括定位点图层,其设于所述主栅线图层靠近所述激光加工台面的一侧。
6.根据权利要求5所述的太阳能电池的激光掺杂图形结构,其特征在于,所述主栅线掺杂带的数量、栅线间距均与丝网印刷网版图形结构相匹配。
7.根据权利要求6所述的太阳能电池的激光掺杂图形结构,其特征在于,所述副栅线掺杂带的数量、栅线间距均与所述丝网印刷网版图形结构相匹配。
8.一种激光掺杂图形结构的加工方法,其特征在于,用于加工如上权利要求1-7任一项所述的太阳能电池的激光掺杂图形结构,所述方法具体包括:
步骤X:对所述丝网印刷正银电极上的主栅线区域进行激光掺杂,形成所述主栅线图层;其中,所述主栅线图层包括若干条平行设置的主栅线掺杂带;
步骤Y:对所述丝网印刷正银电极上的副栅线区域进行激光掺杂,形成所述副栅线图层,使其位于所述主栅线图层远离所述激光加工台面的一侧;其中,所述副栅线图层包括若干条平行设置的副栅线掺杂带,所述副栅线掺杂带、所述主栅线掺杂带两者相互垂直。
9.根据权利要求8所述的激光掺杂图形结构的加工方法,其特征在于,在步骤X中,“对所述丝网印刷正银电极上的主栅线区域进行激光掺杂,形成所述主栅线图层”具体包括:
对所述丝网印刷正银电极上的主栅线区域进行激光掺杂,形成第一主栅线图层、第二主栅线图层,使得两者通过中间镂空图层对称排布。
10.根据权利要求9所述的激光掺杂图形结构的加工方法,其特征在于,在步骤X之前,所述方法还包括:
步骤W:对所述丝网印刷正银电极的定位区域进行激光掺杂,形成定位点图层,使其设于所述主栅线图层靠近所述激光加工台面的一侧。
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