[发明专利]一种制备纳米球形蜂窝结构的方法

权利要求书

1.一种制备纳米球形蜂窝结构的方法，其特征在于，该方法具体包括以下步骤：

1)处理具有亲水性硅片，制备六方密排的聚苯乙烯小球阵列；

2)使用等离子反应刻蚀技术，将小球半径从500nm刻小成450nm；

3)称量质量比为1％PVA粉末，加入去离子水，放入磁力搅拌子，放在搅拌加热台上，90°高温加热搅拌，至溶液中颗粒全部溶解在水中；1％PVA胶制备完成；

4)利用旋涂机将质量比1％PVA胶旋涂至样品上；具体为：取PVA胶，使用布胶速度为2510RPM,旋涂18秒，之后使用匀胶速度为8520RPM，旋涂60秒；

5)使用等离子反应刻蚀技术，调整刻蚀时间，改变球与胶体间隙大小；

6)利用磁控溅射在样品上制作银，二氧化硅共溅射膜；将银靶和二氧化硅靶各自倾斜40度，同时向硅片溅射；

7)用质量比20％氢氟酸做表面化学处理，腐蚀30s，将共溅射中二氧化硅部分腐蚀掉，形成纳米球形蜂窝状结构。

2.根据权利要求1所述的一种制备纳米球形蜂窝结构的方法，其特征在于：处理具有亲水性硅片，该方法具体包括以下步骤：

1a)清洗硅片:用去离子水和无水乙醇分别浸泡干净硅片，再用超声仪超声15min，洗去硅片表面灰层脏污和油渍；将硅片取出来，放置在吸水纸上将残余水分吸干；

1b)亲水处理：将硅片并放入烧杯中，在烧杯中分别加入体积比为1:2:6的氨水、过氧化氢和去离子水的混合溶液中；将烧杯放在烤焦台上加热至沸腾，并保持煮沸15min，冷却后将液体倒出，依次用去离子水，无水乙醇反复超声15min；

1c)制备六方密排的聚苯乙烯小球阵列：将直径500nm聚苯乙烯小球和无水乙醇的按照体积比为1:1混合，再通过超声处理使聚苯乙烯小球均匀分散，用移液枪将聚苯乙烯小球分散液滴在硅片上，使分散液均匀分布在硅片上，将硅片倾斜的滑入液面平稳的器皿中，在水面上形成密排的聚苯乙烯小球阵列，最后用清洗后的硅片将浮在水面上的小球阵列的捞起来，吸水干燥后备用。

3.根据权利要求1所述的一种制备纳米球形蜂窝结构的方法，其特征在于：制作银，二氧化硅共溅射膜时，银的功率为10W,二氧化硅功率为40W；开始前背景气压为4.5×10^-4Pa，通入25sccm的Ar，溅射时背景气压为1.5Pa，溅射时间为10min；银和二氧化硅含量比为4：1。