[发明专利]一种晶圆再生用盒载运装置

说明书

本发明涉及载运装置技术领域，具体是一种晶圆再生用盒载运装置，包括运输箱和晶圆盒，所述晶圆盒的内部开设有储水腔，所述晶圆盒的内部固定连接有滤水盒，所述晶圆盒的底部开设有推出槽，所述推出槽延伸至滤水盒底部，所述晶圆盒的底部开设有安装槽，所述安装槽内固定连接有第二杆架，所述第二杆架内转动连接有第四转动杆，所述第四转动杆的底端固定连接有第二齿盘，所述第四转动杆的顶端固定连接有第五锥齿轮，本发明在运输箱运动的同时能使晶圆盒的晶片槽内放置的晶圆片进行转动，有利于再生晶片在清洗后能快速进行脱水，同时箱盖在打开时能带动多个不同高度大小的推板上移推出晶片，有利于晶片形成不同高度推出方便进行取出。

技术领域

本发明涉及载运装置技术领域，特别是涉及一种晶圆再生用盒载运装置。

背景技术

晶圆的原始材料是硅，而地壳表面有用之不竭的二氧化硅，二氧化硅矿石经由电弧炉提炼，盐酸氯化，并经蒸馏后，制成了高纯度的多晶硅，其纯度高达99.999999999％，晶圆制造厂再把此多晶硅融解，再于融液里种入籽晶，然后将其慢慢拉出，以形成圆柱状的单晶硅晶棒，由于硅晶棒是由一颗晶面取向确定的籽晶在熔融态的硅原料中逐渐生成，此过程称为“长晶”，硅晶棒再经过切段、滚磨、切片、倒角、抛光、激光刻和包装后，即成为积体电路工厂的基本原料—硅晶圆片，这就是“晶圆”，晶圆再生指的是将晶圆成品进行精密加工处理，并使其恢复到与晶圆正片相同的状态，以便可以重复使用，在晶圆进行加工过程中需要进行清洗，清洗完成后的晶圆放置在晶圆盒中进行转运，但是现有的晶圆盒载运装置无法对晶圆盒进行固定，在载运过程中会发生晃动，而且晶圆盒放置晶圆后不便于单一取出，而且清洗完的晶圆表面有水，不便于进行后续处理，现有的载运装置在运输过程中不能对放置的晶圆进行干燥脱水处理，需要进行放置干燥后再进行载运，工作效率低下。

因此，现在亟需设计能解决上述一个或者多个问题的一种晶圆再生用盒载运装置。

发明内容

为解决现有技术中存在的一个或者多个问题，本发明提供了一种晶圆再生用盒载运装置。

本发明为达到上述目的所采用的技术方案是：一种晶圆再生用盒载运装置，包括运输箱和晶圆盒，所述晶圆盒的内部开设有储水腔，所述晶圆盒的内部固定连接有滤水盒，所述晶圆盒的底部开设有推出槽，所述推出槽延伸至滤水盒底部，所述晶圆盒的底部开设有安装槽，所述安装槽内固定连接有第二杆架，所述第二杆架内转动连接有第四转动杆，所述第四转动杆的底端固定连接有第二齿盘，所述第四转动杆的顶端固定连接有第五锥齿轮，所述滤水盒的底部靠近第五锥齿轮的一侧通过转轴转动连接有第二滚筒和第六锥齿轮，所述第六锥齿轮与第五锥齿轮啮合，所述滤水盒的底部远离第二滚筒的一侧通过转轴转动连接有第三滚筒。

优选的，所述运输箱的内底部固定连接有固定块，所述固定块的顶部固定连接有电机，所述电机的输出端通过转轴转动连接有第三齿轮，所述所述运输箱的底部两侧壁转动连接有轮杆，所述轮杆的两端均固定连接有第一运输轮，所述轮杆上固定连接有第二齿轮和第七锥齿轮，所述第二齿轮与第三齿轮啮合，所述运输箱的底部两侧通过转轴对称转动连接有第二运输轮。

优选的，所述运输箱的内顶部固定连接有固定连接有第三杆架，所述第三杆架内转动连接有第五转动杆，所述运输箱的上端内部开设有盒槽，所述第五转动杆的顶部贯穿运输箱内顶部延伸至盒槽内部固定连接有第一齿盘，所述第五转动杆的底端固定连接有第八锥齿轮，所述第八锥齿轮与第七锥齿轮啮合，所述盒槽与晶圆盒呈配合设置，所述第一齿盘与第二齿盘呈配合设置。

优选的，所述滤水盒的内部等距离固定连接有多个隔板，每个所述隔板上均活动卡接有滚珠。

优选的，所述晶圆盒的顶部对称固定连接有提环。