[发明专利]一种晶圆再生用盒载运装置

权利要求书

1.一种晶圆再生用盒载运装置，包括运输箱(1)和晶圆盒(30)，其特征在于：所述晶圆盒(30)的内部开设有储水腔(50)，所述晶圆盒(30)的内部固定连接有滤水盒(51)，所述晶圆盒(30)的底部开设有推出槽(43)，所述推出槽(43)延伸至滤水盒(51)底部，所述晶圆盒(30)的底部开设有安装槽，所述安装槽内固定连接有第二杆架(23)，所述第二杆架(23)内转动连接有第四转动杆(24)，所述第四转动杆(24)的底端固定连接有第二齿盘(22)，所述第四转动杆(24)的顶端固定连接有第五锥齿轮(25)，所述滤水盒(51)的底部靠近第五锥齿轮(25)的一侧通过转轴转动连接有第二滚筒(28)和第六锥齿轮(27)，所述第六锥齿轮(27)与第五锥齿轮(25)啮合，所述滤水盒(51)的底部远离第二滚筒(28)的一侧通过转轴转动连接有第三滚筒(29)。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆再生用盒载运装置，其特征在于：所述运输箱(1)的内底部固定连接有固定块(33)，所述固定块(33)的顶部固定连接有电机(34)，所述电机(34)的输出端通过转轴转动连接有第三齿轮(37)，所述所述运输箱(1)的底部两侧壁转动连接有轮杆(36)，所述轮杆(36)的两端均固定连接有第一运输轮(3)，所述轮杆(36)上固定连接有第二齿轮(35)和第七锥齿轮(38)，所述第二齿轮(35)与第三齿轮(37)啮合，所述运输箱(1)的底部两侧通过转轴对称转动连接有第二运输轮(49)。

3.根据权利要求2所述的一种晶圆再生用盒载运装置，其特征在于：所述运输箱(1)的内顶部固定连接有固定连接有第三杆架(41)，所述第三杆架(41)内转动连接有第五转动杆(40)，所述运输箱(1)的上端内部开设有盒槽(26)，所述第五转动杆(40)的顶部贯穿运输箱(1)内顶部延伸至盒槽(26)内部固定连接有第一齿盘(21)，所述第五转动杆(40)的底端固定连接有第八锥齿轮(39)，所述第八锥齿轮(39)与第七锥齿轮(38)啮合，所述盒槽(26)与晶圆盒(30)呈配合设置，所述第一齿盘(21)与第二齿盘(22)呈配合设置。

4.根据权利要求1所述的一种晶圆再生用盒载运装置，其特征在于：所述滤水盒(51)的内部等距离固定连接有多个隔板(32)，每个所述隔板(32)上均活动卡接有滚珠(44)。

5.根据权利要求1所述的一种晶圆再生用盒载运装置，其特征在于：所述晶圆盒(30)的顶部对称固定连接有提环(31)。

6.根据权利要求1所述的一种晶圆再生用盒载运装置，其特征在于：所述运输箱(1)的顶部设有箱盖(2)，所述箱盖(2)的底部对称开设有滑槽(45)，每个所述滑槽(45)的内顶部均固定连接有弹簧(47)，每个所述弹簧(47)的底部均固定连接有限位板(46)，每个所述限位板(46)均与对应滑槽(45)滑动连接，每个所述限位板(46)的底部均固定连接有第四杆架(48)，两个所述第四杆架(48)共同转动连接有第一转动杆(7)，所述第一转动杆(7)上固定连接有第一锥齿轮(8)，所述箱盖(2)的底部固定连接有滚筒架(4)，所述滚筒架(4)上通过转轴转动连接有第一滚筒(5)，所述第一滚筒(5)上固定套接有橡胶筒套(6)。

7.根据权利要求6所述的一种晶圆再生用盒载运装置，其特征在于：所述运输箱(1)的侧壁内腔室内固定连接有第一杆架(11)，所述第一杆架(11)上转动连接有第二转动杆(10)，所述第二转动杆(10)的顶端固定连接有第二锥齿轮(9)，所述第二锥齿轮(9)与第一锥齿轮(8)啮合。

8.根据权利要求7所述的一种晶圆再生用盒载运装置，其特征在于：所述第二转动杆(10)的底端固定连接有第三锥齿轮(12)，所述运输箱(1)的侧壁内腔室内转动连接有第三转动杆(13)，所述第三转动杆(13)上固定连接有第一齿轮(14)和第四锥齿轮(15)，所述第四锥齿轮(15)与第三锥齿轮(12)啮合。

9.根据权利要求8所述的一种晶圆再生用盒载运装置，其特征在于：所述第一齿轮(14)的一侧设有齿条板(16)，所述齿条板(16)与运输箱(1)的侧壁内腔室滑动连接，所述齿条板(16)的齿面与第一齿轮(14)啮合，所述齿条板(16)的底端固定连接有滑板(17)，所述滑板(17)的下方设有承载板(18)，所述承载板(18)与运输箱(1)侧壁固定连接，所述滑板(17)顶部远离齿条板(16)的一侧固定连接有固定板(19)，所述固定板(19)上固定连接有不同高度大小的推板(20)，每个所述推板(20)均贯穿运输箱(1)延伸至盒槽(26)内与推出槽(43)呈滑动连接。