[发明专利]微机械陀螺仪及电子产品

说明书

本申请涉及一种微机械陀螺仪及电子产品，微机械陀螺仪包括驱动结构、检测结构和连接件。驱动结构包括第一运动件和安装于第一运动件的驱动件，第一运动件能够沿第一方向或与第一方向垂直的第二方向运动，驱动件用于驱动第一运动件的运动；检测结构包括第二运动件和安装于第二运动件的检测件，第二运动件能够沿第三方向或与第三方向垂直的第四方向运动，检测件用于检测第二运动件沿第三方向或第四方向的运动距离；第一方向与第三方向存在预设夹角。其中，驱动件安装于第一运动件内侧，检测件安装于第二运动件内侧，增加了微机械陀螺仪可安装的驱动件的数量，在驱动电压相同时可实现更大振幅驱动，从而提高微机械陀螺仪的灵敏度。

技术领域

本申请涉及陀螺仪技术领域，尤其涉及一种微机械陀螺仪及电子产品。

背景技术

微机械陀螺仪是一种典型的角速度微传感器，由于其尺寸小、功耗低和加工方便等优势在消费电子市场有着非常广泛的应用。通常情况下，微机械陀螺仪的几何结构高度对称，陀螺的驱动模态和检测模态完全相同，灵敏度高，且结构简单，但是，现有的微机械陀螺仪受限于结构和空间布局，使得微机械陀螺仪的灵敏度差。

发明内容

本申请提供了一种微机械陀螺仪及电子产品，能够提高微机械陀螺仪的灵敏度。

本申请第一方面提供一种微机械陀螺仪，包括：驱动结构、检测结构和连接件。驱动结构包括第一运动件和驱动件，第一运动件能够沿第一方向或与第一方向垂直的第二方向运动，驱动件安装于第一运动件内侧，用于驱动第一运动件的运动；检测结构包括第二运动件和检测件，第二运动件能够沿第三方向或与第三方向垂直的第四方向运动，检测件安装于第二运动件内侧，用于检测第二运动件沿第三方向或第四方向的运动距离；第一方向与第三方向存在预设夹角；连接件的一端与第一运动件连接，连接件的另一端与第二运动件连接。

在本申请中，驱动件安装在第一运动件内侧，检测件安装在第二运动件内侧，使得微机械陀螺仪的内部均可布置驱动件和检测件，从而增加了微机械陀螺仪可安装的驱动件的数量，在驱动电压相同时可实现更大振幅驱动，从而提高微机械陀螺仪的灵敏度，同时，提高了微机械陀螺仪的集成度和利用率。

在一种可能的设计中，驱动件包括驱动装置，驱动件设置有第一安装孔，驱动装置安装于第一安装孔；

检测件包括检测装置，检测件设置有第二安装孔，检测装置安装于第二安装孔。

在一种可能的设计中，驱动结构还包括第一周向梁，检测结构还包括第二周向梁；

驱动件通过第一周向梁与第一运动件连接，驱动件通过第二周向梁与第二运动件连接。

在一种可能的设计中，驱动结构包括第一径向梁，检测结构包括第二径向梁，微机械陀螺仪还包括固定件；

固定件的一端通过第一径向梁连接于驱动件，固定件的另一端通过第二径向梁连接于检测件。

在一种可能的设计中，沿第一运动件的运动方向，驱动件的数量至少为两个，沿第二运动件的运动方向，检测件的数量至少为两个；

相邻驱动件通过第一径向梁连接于固定件，相邻检测件通过第二径向梁连接于固定件。

在一种可能的设计中，第一运动件的数量为多个，沿第一运动件的运动方向，第一运动件对称设置；

第二运动件的数量为多个，沿第二运动件的运动方向，第二运动件对称设置；

沿微机械陀螺仪的周向，相邻第一运动件之间设置有至少一个第二运动件。

在一种可能的设计中，沿微机械陀螺仪的周向，第一运动件的运动方向和第二运动件的运动方向均匀分布。

在一种可能的设计中，第一运动件的质量大于第二运动件的质量。