[发明专利]微机械陀螺仪及电子产品

权利要求书

1.一种微机械陀螺仪，其特征在于，所述微机械陀螺仪包括：

驱动结构(1)，所述驱动结构(1)包括第一运动件(11)和驱动件(12)，所述第一运动件(11)能够沿第一方向(X)或与所述第一方向(X)垂直的第二方向(Y)运动，所述驱动件(12)安装于所述第一运动件(11)内侧，用于驱动所述第一运动件(11)的运动；

检测结构(2)，所述检测结构(2)包括第二运动件(21)和检测件(22)，所述第二运动件(21)能够沿第三方向(L)或与所述第三方向(L)垂直的第四方向(K)运动，所述检测件(22)安装于所述第二运动件(21)内侧，用于检测所述第二运动件(21)沿所述第三方向(L)或所述第四方向(K)的运动距离；

所述第一方向(X)与所述第三方向(L)存在预设夹角；

连接件(3)，所述连接件(3)的一端与所述第一运动件(11)连接，所述连接件(3)的另一端与所述第二运动件(21)连接。

2.根据权利要求1所述的微机械陀螺仪，其特征在于，所述驱动件(12)包括驱动装置，所述驱动件(12)设置有第一安装孔(121)，所述驱动装置安装于所述第一安装孔(121)；

所述检测件(22)包括检测装置，所述检测件(22)设置有第二安装孔(221)，所述检测装置安装于所述第二安装孔(221)。

3.根据权利要求1所述的微机械陀螺仪，其特征在于，所述驱动结构(1)包括第一周向梁(14)，所述检测结构(2)包括第二周向梁(24)；

所述驱动件(12)通过所述第一周向梁(14)与所述第一运动件(11)连接，所述驱动件(12)通过所述第二周向梁(24)与所述第二运动件(21)连接。

4.根据权利要求3所述的微机械陀螺仪，其特征在于，所述驱动结构(1)还包括第一径向梁(13)，所述检测结构(2)还包括第二径向梁(23)，所述微机械陀螺仪还包括固定件(4)；

所述固定件(4)的一端通过所述第一径向梁(13)连接于所述驱动件(12)，所述固定件(4)的另一端通过所述第二径向梁(23)连接于所述检测件(22)。

5.根据权利要求4所述的微机械陀螺仪，其特征在于，沿所述第一运动件(11)的运动方向，所述驱动件(12)的数量至少为两个，沿所述第二运动件(21)的运动方向，所述检测件(22)的数量至少为两个；

相邻所述驱动件(12)通过所述第一径向梁(13)连接于所述固定件(4)，相邻所述检测件(22)通过所述第二径向梁(23)连接于所述固定件(4)。

6.根据权利要求1～5中任一项所述的微机械陀螺仪，其特征在于，所述第一运动件(11)的数量为多个，沿所述第一运动件(11)的运动方向，所述第一运动件(11)对称设置；

所述第二运动件(21)的数量为多个，沿所述第二运动件(21)的运动方向，所述第二运动件(21)对称设置；

沿所述微机械陀螺仪的周向，相邻所述第一运动件(11)之间设置有至少一个所述第二运动件(21)。

7.根据权利要求6所述的微机械陀螺仪，其特征在于，沿所述微机械陀螺仪的周向，所述第一运动件(11)的运动方向和所述第二运动件(21)的运动方向均匀分布。

8.根据权利要求1～5中任一项所述的微机械陀螺仪，其特征在于，所述第一运动件(11)的质量大于所述第二运动件(21)的质量。

9.根据权利要求2所述的微机械陀螺仪，其特征在于，所述驱动装置为电容结构和/或电感结构，所述检测装置为电容结构和/或电感结构。

10.一种电子产品，其特征在于，所述电子产品包括：

本体；

权利要求1～9中任一项所述的微机械陀螺仪，所述微机械陀螺仪安装于所述本体。