[发明专利]一种元器件电极的制作方法

权利要求书

1.一种元器件电极的制作方法，其特征在于，包括以下步骤：

(1)流延铁氧体基材：将铁氧体浆料涂布流延，干燥后形成铁氧体基材；

(2)离型膜印刷导电胶：在PET离型膜上，印刷感光导电胶层，加热干燥；

(3)掩膜曝光：在干燥后的感光导电胶上方放置电极图形掩膜，通过紫外线照射，使感光导电胶曝光固化变性；

(4)冲淋显影：使用显影液冲淋显影，在PET离型膜上形成电极图形；

(5)温压转移：将PET离型膜上形成的电极图形在温度和压力的作用下，转移到铁氧体基材上。

2.根据权利要求1所述元器件电极的制作方法，其特征在于，所述步骤(1)中，铁氧体基材的厚度为10～50μm。

3.根据权利要求1所述元器件电极的制作方法，其特征在于，所述步骤(2)中，PET离型膜厚度为40～60μm，所述感光导电胶层的印刷厚度为5～20μm。

4.根据权利要求1所述元器件电极的制作方法，其特征在于，所述步骤(2)中，感光导电胶按重量百分比含量计，包括以下组分：导电粉末79～81％、玻璃组分1.5～2.8％、感光性树脂组合物16.2～19.5％。

5.根据权利要求4所述元器件电极的制作方法，其特征在于，所述步骤(2)中，感光导电胶按重量百分比含量计，包括以下组分：导电粉末80％、玻璃组分2％、感光性树脂组合物18％。

6.根据权利要求4或5所述元器件电极的制作方法，其特征在于，所述导电粉末选自银粉；所述玻璃组分选自Na₂SiO₃、CaSiO₃、SiO₂、Na₂O·CaO·6SiO₂硅酸盐复盐中的至少一种；所述感光性树脂组合物选自聚乙烯醇肉桂酸酯类树脂、PVB树脂、乙基纤维素中的至少一种。

7.根据权利要求1所述元器件电极的制作方法，其特征在于，所述步骤(3)使用的紫外线的波长为365nm。

8.根据权利要求1所述元器件电极的制作方法，其特征在于，所述步骤(4)显影液为质量分数为0.2～0.4wt％的碳酸钠溶液。

9.根据权利要求1所述元器件电极的制作方法，其特征在于，所述步骤(5)，将PET离型膜上形成的电极图形在温度为60～70℃下、单位压力为3～5T/cm²的作用下，转移到铁氧体基材上。

10.一种如权利要求1～9任一项所述的制作方法所制得的元器件电极。