[发明专利]一种氯硅烷残液中高沸物的回收装置

说明书

本发明公开了一种氯硅烷残液中高沸物的回收装置，属于多晶硅生产技术领域，所述回收装置包括蒸发釜(1)、原料罐(2)、超重力旋转填料床(3)、再沸器(4)、第一回收罐(5)和第二回收罐(6)。本发明首先将残液中氯硅烷与固渣分离，然后将含有高沸物的氯硅烷通入超重力旋转填料床(3)中进行分离，低沸物回到系统中，得到高沸物产品，从而达到回收高沸物的目的，利用超重力技术，增加气液传质效率，是传统塔的十几倍，分离能力强、产品纯度高，同时该装置能高效分离残液中的高沸物，设备尺寸减小，设备投入少运行成本低，适合工业化。

技术领域

本发明涉及多晶硅生产技术领域，尤其涉及一种氯硅烷残液中高沸物的回收装置。

背景技术

随着电子信息和太阳能光伏产业的快速发展，市场对于多晶硅的需求日益增长，随之而来的是对多晶硅品质的要求也越来越高。多晶硅的主流生产工艺是改良西门子法，其通过将冶金级硅粉、氢气和四氯化硅进行反应生成三氯氢硅，其后将三氯氢硅进行提纯精制，最后将三氯氢硅与氢气进行还原反应，得到高纯多晶硅。

在多晶硅的生产过程中不可避免的发生一些副反应产生部分残液，残液主要成分为未反应硅粉、高沸物、四氯化硅、甲基氯硅烷及其他氯硅烷，高沸物主要为六氯乙硅烷，对这部分残液的处理方式一般为粗放式的水解，这既是对原料的浪费，又对人和环境造成了极大的危害。而且残液中的氯硅烷可以做脱氧剂、光学纤维原料以及玻璃、有机硅的原料，是一种非常有用的化工原料。

氯硅烷残液中高沸物的传统分离方法为采用精馏塔进行分离，需额外增加精馏塔及配套设施，面临设备投入大，能耗高，运行成本高等问题。

发明内容

本发明的目的在于克服现有技术中对多晶硅的生产过程中产生的残液处理方式存在的问题，提供了一种氯硅烷残液中高沸物的回收装置。

本发明的目的是通过以下技术方案来实现的：

主要提供一种氯硅烷残液中高沸物的回收装置，所述回收装置包括：

蒸发釜，所述蒸发釜用于将含有高沸物的氯硅烷残液蒸发；

原料罐，所述原料罐与所述蒸发釜连接，接收蒸发后的氯硅烷残液；

超重力旋转填料床，所述超重力旋转填料床包括蒸汽进口、原料液进口、蒸汽出口和液体出口，所述原料液进口与所述原料罐连接；

再沸器，所述再沸器包括第一再沸器进口、第二再沸器进口和再沸器出口，所述第一再沸器进口与所述液体出口连接，所述第二再沸器进口与所述原料罐连接，所述再沸器出口与所述蒸汽进口连接；

第一回收罐，所述第一回收罐与所述液体出口连接；以及

第二回收罐，所述第二回收罐与所述蒸汽出口连接。

作为一优选项，一种氯硅烷残液中高沸物的回收装置，所述超重力旋转填料床还包括超重力电机、旋转轴、设在旋转轴上的填料层以及液体分布器，所述超重力电机与所述旋转轴连接，所述液体分布器用于使液体在所述填料层中均匀分布。

作为一优选项，一种氯硅烷残液中高沸物的回收装置，所述填料层包括相互连通的内层和外层，所述内层与所述原料液进口连接，所述外层与所述蒸汽进口连接。

作为一优选项，一种氯硅烷残液中高沸物的回收装置，所述填料层中填料为平丝网叠装填料、波纹丝网填料和压延θ环填料中的一种。

作为一优选项，一种氯硅烷残液中高沸物的回收装置，所述超重力旋转填料床在常压下工作，所述超重力旋转填料床的直径为350-1300mm，高度为1.8-3.0m，转速为200-2000rpm。

作为一优选项，一种氯硅烷残液中高沸物的回收装置，所述再沸器设置于所述超重力旋转填料床的底部。