[发明专利]一种氯硅烷残液中高沸物的回收装置在审
| 申请号: | 202111564316.X | 申请日: | 2021-12-20 |
| 公开(公告)号: | CN114130052A | 公开(公告)日: | 2022-03-04 |
| 发明(设计)人: | 曹玲玲;杨明财;任长春;柴玉荣;鲍守珍;宗冰 | 申请(专利权)人: | 青海亚洲硅业半导体有限公司;亚洲硅业(青海)股份有限公司;青海省亚硅硅材料工程技术有限公司 |
| 主分类号: | B01D3/30 | 分类号: | B01D3/30;B01D3/32;B01D1/00;C01B33/107 |
| 代理公司: | 成都华风专利事务所(普通合伙) 51223 | 代理人: | 张巨箭 |
| 地址: | 810007 青*** | 国省代码: | 青海;63 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 硅烷 中高 回收 装置 | ||
1.一种氯硅烷残液中高沸物的回收装置,其特征在于,所述回收装置包括:
蒸发釜(1),所述蒸发釜(1)用于将含有高沸物的氯硅烷残液蒸发;
原料罐(2),所述原料罐(2)与所述蒸发釜(1)连接,接收蒸发后的氯硅烷残液;
超重力旋转填料床(3),所述超重力旋转填料床(3)包括蒸汽进口(38)、原料液进口(35)、蒸汽出口(37)和液体出口(36),所述原料液进口(35)与所述原料罐(2)连接;
再沸器(4),所述再沸器(4)包括第一再沸器进口(41)、第二再沸器进口(42)和再沸器出口(43),所述第一再沸器进口(41)与所述液体出口(36)连接,所述第二再沸器进口(42)与所述原料罐(2)连接,所述再沸器出口(43)与所述蒸汽进口(38)连接;
第一回收罐(5),所述第一回收罐(5)与所述液体出口(36)连接;以及
第二回收罐(6),所述第二回收罐(6)与所述蒸汽出口(37)连接。
2.根据权利要求1所述的一种氯硅烷残液中高沸物的回收装置,其特征在于,所述超重力旋转填料床(3)还包括超重力电机(31)、旋转轴(32)、设在旋转轴(32)上的填料层(33)以及液体分布器(34),所述超重力电机(31)与所述旋转轴(32)连接,所述液体分布器(34)用于使液体在所述填料层(33)中均匀分布。
3.根据权利要求2所述的一种氯硅烷残液中高沸物的回收装置,其特征在于,所述填料层(33)包括相互连通的内层和外层,所述内层与所述原料液进口(35)连接,所述外层与所述蒸汽进口(38)连接。
4.根据权利要求3所述的一种氯硅烷残液中高沸物的回收装置,其特征在于,所述填料层(33)中填料为平丝网叠装填料、波纹丝网填料和压延θ环填料中的一种。
5.根据权利要求1所述的一种氯硅烷残液中高沸物的回收装置,其特征在于,所述超重力旋转填料床(3)在常压下工作,所述超重力旋转填料床(3)的直径为350-1300mm,高度为1.8-3.0m,转速为200-2000rpm。
6.根据权利要求1所述的一种氯硅烷残液中高沸物的回收装置,其特征在于,所述再沸器(4)设置于所述超重力旋转填料床(3)的底部。
7.根据权利要求1所述的一种氯硅烷残液中高沸物的回收装置,其特征在于,所述液体出口(36)处设有液体收集罐(7),所述液体收集罐(7)分别与所述第一再沸器进口(41)、第一回收罐(5)连接。
8.根据权利要求1所述的一种氯硅烷残液中高沸物的回收装置,其特征在于,所述原料罐(2)与所述原料液进口(35)连接的管道上设有泵(8)。
9.根据权利要求1所述的一种氯硅烷残液中高沸物的回收装置,其特征在于,所述第二回收罐(6)与所述蒸汽出口(37)连接的管道上设有换热器(9)。
10.根据权利要求1所述的一种氯硅烷残液中高沸物的回收装置,其特征在于,所述蒸发釜(1)的工作温度为150℃-200℃。
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