[发明专利]芯片自动测试装置及方法在审
申请号: | 202111562543.9 | 申请日: | 2021-12-20 |
公开(公告)号: | CN114093793A | 公开(公告)日: | 2022-02-25 |
发明(设计)人: | 姜骥;刘翔;黄兢兢;姜利军 | 申请(专利权)人: | 浙江大立科技股份有限公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67;H01L21/677 |
代理公司: | 上海盈盛知识产权代理事务所(普通合伙) 31294 | 代理人: | 孙佳胤 |
地址: | 310053 *** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 芯片 自动 测试 装置 方法 | ||
1.一种芯片自动测试装置,其特征在于,包括:
移载模块,所述移载模块包括:
视觉机构,所述视觉机构获得待测芯片的位置信息;
移动机构,与所述视觉机构连接,接收所述视觉机构发送的位置信息,并根据所述位置信息将所述待测芯片移动到测试工位;
测试模块,与所述移载模块连接,对在测试工位上的所述待测芯片进行测试。
2.根据权利要求1所述的芯片自动测试装置,其特征在于,还包括:
装载模块,与所述移载模块连接,所述装载模块具有编码信息。
3.根据权利要求2所述的芯片自动测试装置,其特征在于,所述装载模块包括:
托盘,所述托盘具有多个芯片工位,所述芯片工位用于放置所述待测芯片。
4.根据权利要求3所述的芯片自动测试装置,其特征在于,所述装载模块还包括:
提篮,所述提篮具有多个卡槽,所述卡槽用于固定所述托盘。
5.根据权利要求2所述的芯片自动测试装置,其特征在于,还包括:
存储模块,与所述测试模块及所述装载模块连接,将所述测试模块获得的测试结果与所述装载模块的编码信息进行关联存储以形成关联记录。
6.根据权利要求5所述的芯片自动测试装置,其特征在于,还包括:分拣模块,所述分拣模块连接至所述存储模块,根据所述关联记录对所述待测芯片进行分拣。
7.根据权利要求2所述的芯片自动测试装置,其特征在于,还包括:识别模块,所述识别模块连接至所述装载模块,对所述装载模块上的编码信息进行识别。
8.根据权利要求1所述的芯片自动测试装置,其特征在于,所述测试模块包括:测试板卡,所述测试板卡驱动芯片工作并采集所述芯片的输出信号。
9.根据权利要求8所述的芯片自动测试装置,其特征在于,所述测试模块还包括:探针及探针到位检测机构,所述探针到位检测机构连接至所述测试板卡,当所述探针到位检测机构检测到所述探针与所述芯片的管脚接触时,所述探针到位检测机构输出一信号使所述测试板卡驱动芯片工作。
10.一种芯片自动测试方法,其特征在于,包括:
提供一移载模块,所述移载模块包括:
视觉机构,所述视觉机构获得待测芯片的位置信息;
移动机构,与所述视觉机构连接,接收所述视觉机构发送的位置信息,并根据所述位置信息将所述待测芯片移动到测试工位;
提供一测试模块,与所述移载模块连接,对在测试工位上的所述待测芯片进行测试。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造