[发明专利]一种提高内圆切割设备对脆硬材料加工的机构

说明书

本发明提供了一种提高内圆切割设备对脆硬材料加工的机构，包括伺服电机、上弧形座、下弧形座、三爪卡盘、轴系、过渡盘与三爪连接盘；所述轴系外壁固定安装有轴系旋转轴，所述伺服电机输出端安装有轴系，所述轴系安装有上弧形座，所述上弧形座与下弧形座活动连接，所述三爪卡盘与所述过渡盘固定连接，所述三爪连接盘与所述过渡盘固定连接，所述三爪卡盘与所述三爪连接盘固定连接，所述三爪卡盘安装有多个夹爪，本发明通过伺服电机、上弧形座、下弧形座、三爪卡盘与三爪连接盘，可以调节装夹角度以装夹形状不规则的棒料，且在进行切割时，可以带动棒料旋转，棒料旋转方向与刀片相反，提高相对切割速度，缩短了切割时间。

技术领域

本发明涉及内圆切割设备的技术领域，尤其涉及一种提高内圆切割设备对脆硬材料加工的机构。

背景技术

半导体材料,晶体材料的发展,各种脆硬材料层出不穷,激光晶体,闪烁晶体,红外晶体等脆硬材料不但价值高而且晶棒尺寸也越来越大,现有技术中，对于晶棒的切割加工一般采用内圆切割的方式。

针对上述中的相关技术，发明人认为，由于拉晶时晶棒出现弯曲,扭曲,椭圆等不规则外形,这种情况下现有设备受工艺限制切割效率低,存在晶棒难装夹和不能装夹等工艺问题。

发明内容

针对上述技术问题，本发明提供的一种提高内圆切割设备对脆硬材料加工的机构，以解决现有技术中存在的问题。

为实现上述目的，本发明采取的技术方案为：

本发明提供的一种提高内圆切割设备对脆硬材料加工的机构，包括伺服电机、上弧形座、下弧形座、三爪卡盘、过渡盘、轴系与三爪连接盘；所述轴系外壁固定安装有轴系旋转轴，所述伺服电机输出端安装有轴系，所述轴系安装有上弧形座，所述上弧形座与下弧形座活动连接，所述三爪卡盘与所述过渡盘固定连接，所述三爪连接盘与所述过渡盘固定连接，所述三爪卡盘与所述三爪连接盘固定连接，所述三爪卡盘安装有多个夹爪。

采用上述技术方案，通过伺服电机、上弧形座、下弧形座、三爪卡盘与三爪连接盘，可以调节装夹角度以装夹形状不规则的棒料，且在进行切割时，可以带动棒料旋转，棒料旋转方向与刀片相反，提高相对切割速度，缩短了切割时间。

优选的，所述伺服电机安装有减速器。

采用上述技术方案，通过减速器减速增大输出转矩。

优选的，所述轴系活动连接有轴系座。

采用上述技术方案，通过轴系座可以调节轴系中心轴线与刀片上面垂直，避免切割方向偏斜。

上述技术方案具有如下优点或者有益效果：

1、通过伺服电机、上弧形座、下弧形座、三爪卡盘与三爪连接盘，可以调节装夹角度以装夹形状不规则的棒料，且在进行切割时，可以带动棒料旋转，棒料旋转方向与刀片相反，提高相对切割速度，缩短了切割时间。

附图说明

通过阅读参照以下附图对非限制性实施例所作的详细描述，本发明及其特征、外形和优点将会变得更加明显。在全部附图中相同的标记指示相同的部分。并未刻意按照比例绘制附图，重点在于示出本发明的主旨。

图1是本发明实施例1提供的结构示意图；

图2是本发明实施例1提供的正视截面图；

图3是本发明实施例1提供的顶视图。

图中：1、伺服电机；2、减速器；3、轴系；4、上弧形座；5、下弧形座；6、三爪卡盘；7、轴系座；8、过渡盘；9、三爪连接盘；10、夹爪；11、轴系旋转轴；12、晶棒；13、内圆切割机刀片。

具体实施方式