[发明专利]一种导电膜

说明书

本公开实施例提供一种导电膜，其包括衬底层，在所述衬底层上通过沉积方式依次设置平坦层、梯度种子层、金属层、蛛网层、种子层以及调色层，所述金属层中的金属能够实现层状生长。本公开实施例能够实现例如银层的层状生长，在同等材料消耗的情况下，使得在保证具有一定的太阳光透过率的情况下，兼顾透过能量和露点以及电阻率，生产成本低廉，应用场景广泛。

技术领域

本公开涉及一种导电装置领域，具体涉及一种导电膜。

背景技术

为满足人民日益增长的物质文化需求，在超市中的冷藏展示区正逐步实现美观和可视化，在冷藏展示区往往设置透明导电膜。但是现有的透明导电膜不能兼顾高透过和低能耗的特点，这与碳达峰的目标相背离；同时，现有的透明导电膜的色彩还原度比较低，通过其观察物品会造成偏色，影响顾客对于物品的选购。具体地，由于冷藏柜内部温度低，外部水汽含量高，造成开关门取商品时容易结露，这样会影响后续顾客的对于展示柜内商品的选购。现有技术是通过电加热迅速除去结露，这样造成能源的极大浪费。

此外，采暖和空调能耗占社会总能耗的20％，随着碳达峰的提出，被动式节能建筑再次上升到新的高度。根据热力学定律可知，能量损耗的三种方式分别为辐射，对流和传导。全球温带气候区域由于夏天和冬天的太阳入射角度的不同，夏季对于遮阳的要求可通过遮阳蓬实现，夏季以外的时间尤其是冬季，人们希望太阳的热量可以尽可能多的进入到室内，同时不想暖气或者空调带来的宝贵热量损失。中空或者真空的应用可以极大地减少对流和传导的能量损失，然而透明导电膜可以实现减少通过辐射方式的能量损失。但是，高的太阳能的透过率和低的辐射能量损失是矛盾的存在，仅仅增加导电层会造成太阳能透过的减少，同时可以减少辐射能力损失。现有的导电膜的结构均不能导电膜中实现例如金属银(Ag)层的层状生长，造成生产材料浪费的同时，并未达到材料性能的最大化。

此外，当今是互联网的时代，集成电路和各种元器件是基础，薄膜技术是制作芯片，传感器、集成电路等的基础。随着器件的微型化，轻量化等趋势，对膜层材料纯度，应力，以及生长过程中的各种缺陷都提出了越来越严格的要求。溅射方式生长的膜层生长方式一般为层岛状生长，当膜层在十几纳米的厚度时候，膜层的粗糙度可能达到十几纳米。当这样的膜层作为基础层时，时远远不能满足要求的。

在制作导电膜的工艺技术中，由于应力的存在，随着膜层的加厚，膜层会存在开裂或者脱落的风险，这极大的影响了厚膜的应用，尤其是在半导体封装等领域，如果膜层有微裂纹的存在，将严重影响器件的使用寿命。在工具镀和装饰镀等领域，当膜层应力得不到释放会影响工具的性能和寿命。

发明内容

为了解决现有技术中出现的问题，本公开实施例提供一种导电膜，其包括衬底层，在所述衬底层上通过沉积方式依次设置平坦层、梯度种子层、金属层、蛛网层、种子层以及调色层，所述金属层中的金属能够实现层状生长。

在一些实施例中，所述衬底层采用石英制成。

在一些实施例中，所述平坦层包括第一平坦层和第二平坦层，所述第一平坦层采用氮化物或者氧化物制成或者形成基于氮氧化物的组合层，所述第二平坦层采用氧化物制成。

在一些实施例中，所述第一平坦层采用SiAlNx、SiZrNx、ZnSnOx中的至少一种制成；所述第二平坦层采用ZnOx、ZnAlOx、ZnSnOx、ZnSnOx:Sb中的至少一种制成。

在一些实施例中，所述第一平坦层的厚度在10.0-40.0nm的范围内选择；所述第二平坦层的厚度在10.0-40.0nm的范围内选择。

在一些实施例中，所述梯度种子层是基于多种氧化物的组合层或者基于单一氧化物的不同成分梯度的组合层。