[发明专利]显示基板及其制备方法、显示装置在审
申请号: | 202111520433.6 | 申请日: | 2021-12-13 |
公开(公告)号: | CN114256314A | 公开(公告)日: | 2022-03-29 |
发明(设计)人: | 王杰;杜哲;白青 | 申请(专利权)人: | 合肥维信诺科技有限公司 |
主分类号: | H01L27/32 | 分类号: | H01L27/32 |
代理公司: | 北京华进京联知识产权代理有限公司 11606 | 代理人: | 吴娜娜 |
地址: | 230000 安徽省合*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 显示 及其 制备 方法 显示装置 | ||
1.一种显示基板,其特征在于,包括:衬底以及设置于所述衬底上的多个驱动电路;所述驱动电路包括驱动晶体管和开关晶体管;
其中,所述驱动晶体管包括:第一有源层以及位于所述第一有源层靠近所述衬底一侧的第一栅极;所述开关晶体管包括:与所述第一有源层同层设置的第二有源层,以及位于所述第二有源层背离所述衬底一侧的第二栅极。
2.根据权利要求1所述的显示基板,其特征在于,所述显示基板还包括:位于所述第一栅极和所述第一有源层之间的第一栅介质层,以及位于所述第二有源层和所述第二栅极之间的第二栅介质层;其中,所述第一栅介质层的厚度大于所述第二栅介质层的厚度;
优选的,所述第一栅介质层的厚度大于
3.根据权利要求2所述的显示基板,其特征在于,所述驱动电路还包括:与所述驱动晶体管相连的电容器;所述电容器包括:相对设置的第一电极和第二电极;
其中,所述第一电极为所述第一栅极的延伸部;
所述第二电极与所述第一有源层、所述第二有源层同层设置。
4.根据权利要求1所述的显示基板,其特征在于,
所述开关晶体管还包括:位于所述第二有源层靠近所述衬底一侧的第三栅极;
其中,所述第三栅极与所述第一栅极同层设置,且所述第三栅极和所述第二栅极相连。
5.根据权利要求1所述的显示基板,其特征在于,所述驱动晶体管还包括:位于所述第一有源层背离所述第一栅极一侧的浮空电极;
优选的,所述浮空电极与所述第二栅极同层设置。
6.根据权利要求1所述的显示基板,其特征在于,
所述驱动晶体管还包括:位于所述第一有源层背离所述第一栅极一侧的第一源极和第一漏极,以及与所述第一源极相连的辅助电极;
优选的,所述辅助电极与所述第二栅极同层设置。
7.根据权利要求1所述的显示基板,其特征在于,所述驱动晶体管还包括:位于所述第一有源层背离所述第一栅极一侧的第一源极和第一漏极;所述显示基板还包括:位于所述第一有源层背离所述第一栅极一侧的遮光电极;其中,
所述遮光电极与所述第一源极、所述第一漏极同层设置,且位于所述第一源极和所述第一漏极之间;
优选的,所述遮光电极与电源电压线相连。
8.根据权利要求1所述的显示基板,其特征在于,所述显示基板还包括:位于所述驱动电路背离所述衬底一侧的金属导电图案;所述金属导电图案的部分复用为遮光电极;所述遮光电极在所述衬底上的正投影与所述第一有源层在所述衬底上的正投影至少部分重叠;
优选的,所述金属导电图案包括电源电压线或发光器件的阳极。
9.一种显示基板的制备方法,其特征在于,包括:
提供衬底;
在所述衬底的一侧形成驱动晶体管的第一栅极;
在所述第一栅极背离所述衬底的一侧形成氧化物半导体层;
将所述氧化物半导体层图案化,分别形成所述驱动晶体管的第一有源层和开关晶体管的第二有源层;
在所述第二有源层背离所述衬底的一侧形成所述开关晶体管的第二栅极。
10.一种显示装置,其特征在于,包括:如权利要求1~8中任一项所述的显示基板。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的