[发明专利]一种添加剂及包含该添加剂的光刻胶组合物在审

专利信息
申请号: 202111520267.X 申请日: 2021-12-13
公开(公告)号: CN114114835A 公开(公告)日: 2022-03-01
发明(设计)人: 杨欣;崔淑杰;李永强;吕明;高峰;高昂;冀涛;李春 申请(专利权)人: 陕西彩虹新材料有限公司
主分类号: G03F7/004 分类号: G03F7/004
代理公司: 西安通大专利代理有限责任公司 61200 代理人: 张宇鸽
地址: 712021 陕西省咸*** 国省代码: 陕西;61
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摘要:
搜索关键词: 一种 添加剂 包含 光刻 组合
【权利要求书】:

1.一种添加剂,其特征在于,所述添加剂为有机杂环化合物,由式1表示:

式1

其中,R1为氢、苯基、卤代苯基、羧基苯基和磺酸苯基中的任意一种;

R3和R4为氢、C1~C6的烷基和C3~C6的环烷基中的任意一种;

R5为氢、羟基、羧基和酮基中的任意一种。

2.一种光刻胶组合物,其特征在于,原料包括线性酚醛树脂、感光剂、溶剂、增感剂、流平剂和权利要求1所述的添加剂。

3.根据权利要求2所述的一种光刻胶组合物,其特征在于,按重量占比计,原料包括10%~15%的线性酚醛树脂、2%~3%的感光剂、0.45%~0.55%的增感剂、0.1%~0.2%的流平剂、0.08%~0.26%的权利要求1所述的添加剂,其余为溶剂。

4.根据权利要求2或3中所述的一种光刻胶组合物,其特征在于,所述线性酚醛树脂分子量为3000~8000。

5.根据权利要求2或3中所述的一种光刻胶组合物,其特征在于,所述感光剂为三羟基二苯甲酮-重氮萘醌磺酸酯或四羟基二苯甲酮-重氮萘醌磺酸酯。

6.根据权利要求2或3中所述的一种光刻胶组合物,其特征在于,所述溶剂为丙二醇甲醚醋酸酯、二丙二醇甲醚醋酸酯和苯甲醇中的一种或多种。

7.根据权利要求2或3中所述的一种光刻胶组合物,其特征在于,所述增感剂为1,1,1-三对羟基苯基乙烷。

8.根据权利要求2或3中所述的一种光刻胶组合物,其特征在于,所述流平剂为聚醚硅氧烷共聚物。

9.权利要求2或3中所述的一种光刻胶组合物的应用,其特征在于,所述光刻胶组合物应用于制造液晶面板或半导体器件中。

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