[发明专利]缺陷检测方法、装置、设备及存储介质在审
| 申请号: | 202111518451.0 | 申请日: | 2021-12-10 |
| 公开(公告)号: | CN114235758A | 公开(公告)日: | 2022-03-25 |
| 发明(设计)人: | 解三霞;时广军;周钟海;姚毅;杨艺 | 申请(专利权)人: | 苏州凌云视界智能设备有限责任公司;凌云光技术股份有限公司 |
| 主分类号: | G01N21/63 | 分类号: | G01N21/63;G01N21/01;H01L21/66 |
| 代理公司: | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人: | 侯军洋 |
| 地址: | 215123 江苏省苏州市工业园区长阳*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 缺陷 检测 方法 装置 设备 存储 介质 | ||
1.一种缺陷检测方法,其特征在于,包括:
获取待检测物体表面的原始灰度图像;
将所述原始灰度图像中的各像素点,根据该像素点的邻域像素点的灰度值,对该像素点的灰度值进行调整,得到灰度调整图像;
对所述灰度调整图像进行阈值分割,并根据阈值分割结果,确定所述待检测物体的缺陷检测结果。
2.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述根据该像素点的邻域像素点的灰度值,对该像素点的灰度值进行调整,得到灰度调整图像,包括:
确定掩膜尺寸,并根据所述掩膜尺寸,确定该像素点的掩膜区域内的邻域像素点;
根据所述掩膜区域内的邻域像素点之间的最大灰度差值,确定所述灰度调整图像中该像素点的像素值。
3.根据权利要求2所述的方法,其特征在于,所述确定掩膜尺寸,包括:
根据所述原始灰度图像中各像素点的像素值,估计所述原始灰度图像的缺陷区域;
根据所述缺陷区域,确定所述掩膜尺寸。
4.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,在所述将所述原始灰度图像中的各像素点,根据该像素点的邻域像素点的灰度值,对该像素点的灰度值进行调整,得到灰度调整图像之前,所述方法还包括:
对所述原始灰度图像进行缩小处理,以更新所述原始灰度图像。
5.根据权利要求4所述的方法,其特征在于,所述对所述原始灰度图像进行缩小处理,以更新所述原始灰度图像,包括:
基于设定缩小系数,采用双线性插值算法对所述原始灰度图像进行缩小处理,以更新所述原始灰度图像。
6.根据权利要求5所述的方法,其特征在于,所述设定缩小系数根据以下方式确定:
根据所述原始灰度图像,确定所述原始灰度图像中亮度噪点的平均像素个数;
将所述平均像素个数的倒数确定为所述缩小系数。
7.根据权利要求5所述的方法,其特征在于,所述根据阈值分割结果,确定所述待检测物体的缺陷检测结果,包括:
确定阈值分割结果中缺陷参考区域的中心坐标和区域大小;
根据所述设定缩小系数、所述中心坐标和所述区域大小,确定所处待检测物体缺陷所在的真实区域。
8.一种缺陷检测装置,其特征在于,包括:
灰度图像获取模块,用于获取待检测物体表面的原始灰度图像;
灰度调整模块,用于将所述原始灰度图像中的各像素点,根据该像素点的邻域像素点的灰度值,对该像素点的灰度值进行调整,得到灰度调整图像;
检测结果确定模块,用于对所述灰度调整图像进行阈值分割,并根据阈值分割结果,确定所述待检测物体的缺陷检测结果。
9.一种电子设备,其特征在于,包括:
一个或多个处理器;
存储装置,用于存储一个或多个程序,
当所述一个或多个程序被所述一个或多个处理器执行,使得所述一个或多个处理器实现如权利要求1-7中任一项所述的一种缺陷检测方法。
10.一种计算机可读存储介质,其上存储有计算机程序,其特征在于,该程序被处理器执行时实现如权利要求1-7中任一项所述的一种缺陷检测方法。
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