[发明专利]一种升降式光刻机及其加工方法

说明书

本发明公开了一种升降式光刻机及其加工方法，涉及光学加工技术领域，包括基座、双龙门、光学机构、对位机构和工作台机构；光学机构包括光刻镜头，光刻镜头和镜头移动板；对位机构包括对位相机；工作台机构包括上工作台和下工作台，上工作台上设有上斜块升降机构，上工作台通过上斜块升降机构对台面进行垂直升降；下工作台上设有下斜块升降机构，下工作台通过下斜块升降机构对台面进行垂直升降；本发明的上工作台通过上斜块升降机构垂直升降台面，下工作台通过下斜块升降机构对台面进行垂直升降台面，斜块升降机构升降更加稳定，不易产生误差，且使用寿命长；本发明通过上工作台和下工作台的紧密配合工作，提高了工作效率。

技术领域

本发明涉及光学加工技术领域，具体是一种升降式光刻机及其加工方法。

背景技术

光学加工广泛应用于半导体和PCB生产领域，是制作半导体器件、芯片和PCB板等产品的重要加工方法，其用于在工件表面上光刻特征图形，印刷电路板防焊油墨的处理以及多层电路板之间电气互连的打孔处理等。

对于印刷电路板来说，通常在印刷电路板对应的双面进行电路图形和防焊油墨的加工，传统的光刻技术需要制作掩膜的母版或者菲林底片进行曝光操作，制作周期长，且每一版对应单一图形，不能广泛应用。现有的直写光刻机构采用双工作台进行双面加工时，通常是采用一个工作台对印刷电路板的正面进行加工，利用另一工作台对印刷电路板的反面进行加工，通过两个工作台完成双面加工，由于两个工作台在生产及装配过程中会产生误差，导致双面加工时容易产生误差。

现有的光刻机的丝杆升降式机构安装比较复杂，丝杆很难达到完全垂直安装，导致步进马达驱动的距离与实际升降的距离不一致，容易导致误差。且丝杆容易损耗，使用寿命短。

发明内容

本发明的目的在于提供一种升降式光刻机及其加工方法，具有斜块升降机构升降更加稳定，不易产生误差，且使用寿命长，提高了生产效率的有益效果，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：

一种升降式光刻机，包括基座、双龙门、光学机构、对位机构和工作台机构，所述双龙门连接于所述基座顶侧，所述光学机构和对位机构均连接于所述双龙门上，所述工作台机构连接于所述基座上，并设于所述对位机构的下方；

所述光学机构包括光刻镜头，所述光刻镜头和镜头移动板，所述光刻镜头连接于所述镜头移动板上，所述镜头移动板连接于所述双龙门上；

所述对位机构包括对位相机，所述对位相机设于所述工作台机构上方，并与所述双龙门连接；

所述工作台机构包括上工作台和下工作台，所述上工作台和所述下工作台均可在所述基座上移动，所述上工作台上设有上斜块升降机构；所述下工作台上设有下斜块升降机构；

作为本发明再进一步的方案：所述基座上设有移动模组，所述上工作台和所述下工作台可在所述移动模组上移动。

作为本发明再进一步的方案：所述光刻镜头的数量为1、4、5、6、7、8或12个，所述双龙门上连接有滑轨，所述镜头移动板可滑动地连接于滑轨上，所述光刻镜头连接于所述镜头移动板上；每个光刻镜头对应一个光路，在工件上形成一个成像区域。

作为本发明再进一步的方案：所述对位相机设有两个，所述对位相机侧面连接有相机移动板，所述相机移动板侧面连接有导轨，所述相机移动板可滑动地连接于所述导轨上，所述导轨固定于所述双龙门上。

作为本发明再进一步的方案：所述对位机构还包括工作台校对相机和龙门校对相机，所述工作台校对相机设有两个，均连接于工作台机构的侧面；所述龙门校对相机设有两个，一个连接于镜头移动板一端，另一个连接于镜头移动板另一端。

作为本发明再进一步的方案：所述上工作台完成光刻加工后，移动到起点位置；所述下工作台完成光刻加工后，通过下斜块升降机构垂直降低台面，并移动到起点位置；所述上工作台与所述下工作台相遇时，所述上工作台的台面高度高于所述下工作台的台面高度。