[发明专利]一种升降式光刻机及其加工方法

权利要求书

1.一种升降式光刻机，其特征在于，包括基座、双龙门、光学机构、对位机构和工作台机构，所述双龙门连接于所述基座顶侧，所述光学机构和对位机构均连接于所述双龙门上，所述工作台机构连接于所述基座上，并设于所述对位机构的下方；

所述光学机构包括光刻镜头，所述光刻镜头和镜头移动板，所述光刻镜头连接于所述镜头移动板上，所述镜头移动板连接于所述双龙门上；

所述对位机构包括对位相机，所述对位相机设于所述工作台机构上方，并与所述双龙门连接；

所述工作台机构包括上工作台和下工作台，所述上工作台和所述下工作台均可在所述基座上移动，所述上工作台上设有上斜块升降机构；所述下工作台上设有下斜块升降机构。

2.根据权利要求1所述的一种升降式光刻机，其特征在于，所述基座上设有移动模组，所述上工作台和所述下工作台可在所述移动模组上移动。

3.根据权利要求1所述的一种升降式光刻机，其特征在于，所述光刻镜头的数量为1、4、5、6、7、8或12个，所述双龙门上连接有滑轨，所述镜头移动板可滑动地连接于滑轨上，所述光刻镜头连接于所述镜头移动板上；每个光刻镜头对应一个光路，在工件上形成一个成像区域。

4.根据权利要求1所述的一种升降式光刻机，其特征在于，所述对位相机设有两个，所述对位相机侧面连接有相机移动板，所述相机移动板侧面连接有导轨，所述相机移动板可滑动地连接于所述导轨上，所述导轨固定于所述双龙门上。

5.根据权利要求1所述的一种升降式光刻机，其特征在于，所述对位机构还包括工作台校对相机和龙门校对相机，所述工作台校对相机设有两个，均连接于工作台机构的侧面；所述龙门校对相机设有两个，一个连接于镜头移动板一端，另一个连接于镜头移动板另一端。

6.根据权利要求1所述的一种升降式光刻机，其特征在于，所述上工作台完成光刻加工后，移动到起点位置；所述下工作台完成光刻加工后，通过下斜块升降机构垂直降低台面，并移动到起点位置；所述上工作台与所述下工作台相遇时，所述上工作台的台面高度高于所述下工作台的台面高度。

7.根据权利要求1所述的一种升降式光刻机，其特征在于，所述下斜块升降机构的升降幅度大于所述上斜块升降机构。

8.根据权利要求1-7任一所述双龙门斜块升降式光刻机的加工方法，其特征在于，将PCB放置于上工作台，所述上工作台移动至对位相机下方，并对PCB进行对位加工，两个对位相机对PCB抓取靶标进行标定，对位加工后，移动至光刻镜头下方，并往复移动对PCB进行光刻加工，光刻镜头在PCB上形成成像区域，光刻加工后，上工作台移动到起点位置；所述上工作台移动至对位相机下方时，将另一个PCB放置于下工作台，所述下工作台移动至对位相机下方，并通过下斜块升降机构垂直升高台面，此时，上工作台移动至起点位置，不会干涉，对位相机对PCB进行对位加工，两个对位相机对PCB抓取靶标进行标定，对位加工后，移动至光刻镜头下方，并往返移动对PCB进行光刻加工，光刻镜头在PCB上形成成像区域，光刻加工后，下工作台通过下斜块升降机构垂直降低台面，并移动到起点位置。