[发明专利]一种阵列基板及液晶显示面板在审
| 申请号： | 202111493960.2 | 申请日： | 2021-12-08 |
| 公开（公告）号： | CN114167654A | 公开（公告）日： | 2022-03-11 |
| 发明（设计）人： | 吴志林;马涛;宋德伟;艾飞 | 申请（专利权）人： | 武汉华星光电技术有限公司 |
| 主分类号： | G02F1/1362 | 分类号： | G02F1/1362;G02F1/1368 |
| 代理公司： | 深圳紫藤知识产权代理有限公司 44570 | 代理人： | 杨瑞 |
| 地址： | 430079 湖北省武汉市*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 阵列 液晶显示 面板 | ||
1.一种阵列基板，其特征在于，包括：
基板；以及
形成于所述基板上的薄膜晶体管阵列层，其中，所述薄膜晶体管阵列层包括：
形成于所述基板上的低温多晶硅层；
位于所述基板上并覆盖所述低温多晶硅层的栅极绝缘层；
栅极，位于所述栅极绝缘层的表面，所述栅极包括依次层叠设置的第一金属阻隔层、子栅层、第二金属阻隔层及金属抗腐蚀层，所述第二金属阻隔层的热膨胀系数小于所述子栅层的热膨胀系数，所述子栅层的电阻率小于第一金属阻隔层、第二金属阻隔层及所述金属抗腐蚀层的电阻率；
层间绝缘层，位于所述栅极绝缘层上并覆盖所述栅极；以及
源漏极层，与所述低温多晶硅层通过第一过孔连接。
2.根据权利要求1所述的阵列基板，其特征在于，所述第一金属阻隔层的材质是钛、钨或者钼中的任意一种。
3.根据权利要求1所述的阵列基板，其特征在于，所述第二金属阻隔层的材质是钛。
4.根据权利要求1所述的阵列基板，其特征在于，所述子栅层的材质选自铝或铝合金、铜或铜合金、银或银合金。
5.根据权利要求1所述的阵列基板，其特征在于，所述金属抗腐蚀层选自钼或者钨中的任意一种。
6.根据权利要1所述的阵列基板，其特征在于，所述第一金属阻隔层及第二金属阻隔层的厚度均介于50-100埃之间。
7.根据权利要求1所述的阵列基板，其特征在于，所述金属抗腐蚀层的厚度介于300-800埃之间。
8.根据权利要求1所述的阵列基板，其特征在于，所述子栅层的厚度介于2500-4000埃之间。
9.根据权利要求1所述的阵列基板，其特征在于，所述阵列基板还包括与所述栅极具有相同层结构的栅电源电压走线，所述层间绝缘层中设置第二过孔，所述栅电源电压走线与所述源漏极层通过所述第二过孔连接。
10.一种液晶显示面板，其特征在于，包括如权利要求1-9任意一项所述的阵列基板。
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