[发明专利]一种用金刚石密封的光纤光栅传感装置及其制作方法

权利要求书

1.一种用金刚石密封的光纤光栅传感装置，包括光纤光栅和金刚石，其特征在于，所述光纤光栅用高温退火处理过的光纤光栅，其采用镀金属工艺制作的镀金属光栅；所述金刚石采用盐浴法制作的镀金属金刚石；所述镀好金属的光栅放置于设计好的热压模具内，在热压模具内的镀金属光栅以上下两个方向，分别逐层铺上金属箔片和镶有镀金属金刚石颗粒的金属网，并通过真空热压处理后，使金刚石在光纤上下呈高密度均匀层状分布。

2.如权利要求1所述的用金刚石密封的光纤光栅传感装置的制作方法，其特征在于，包括以下步骤：

S1，在光纤光栅表面镀层金属；

S2，在金刚石颗粒表面镀层金属；

S3，在设计好的热压模具内放置镀好金属的光纤光栅；

S4，在热压模具内的光栅上下逐层平铺金属箔片和镶有镀金属金刚石颗粒的金属网；

S5，放入真空热压炉中热压成型。

3.如权利要求2所述的用金刚石密封的光纤光栅传感装置的制作方法，其特征在于，在步骤S1中，所述光纤为PI涂层光纤光栅。

4.如权利要求3所述的用金刚石密封的光纤光栅传感装置的制作方法，其特征在于，在步骤S1中，所述光纤光栅采用高温退火处理过的光纤光栅。

5.如权利要求4所述的用金刚石密封的光纤光栅传感装置的制作方法，其特征在于，在步骤S1中，所述光纤光栅镀金属工艺采用磁控溅射加电镀混合工艺。

6.如权利要求5所述的用金刚石密封的光纤光栅传感装置的制作方法，其特征在于，在步骤S1中，所述镀金属光栅的金属镀层长度在3～15cm之间，镀层厚度在300～900μm之间。

7.如权利要求2所述的用金刚石密封的光纤光栅传感装置的制作方法，其特征在于，在S1、S2、S3、S4任一步骤中，所述金属和金属网为同一种金属。

8.如权利要求7所述的用金刚石密封的光纤光栅传感装置的制作方法，其特征在于，在步骤S2中，所述金刚石目数在100～200之间。

9.如权利要求7所述的用金刚石密封的光纤光栅传感装置的制作方法，其特征在于，在步骤S2中，所述金刚石在镀金属之前需要使用盐酸、丙酮等清洗干净。

10.如权利要求7所述的用金刚石密封的光纤光栅传感装置的制作方法，其特征在于，在步骤S2中，所述金刚石镀金属工艺采用盐浴法。

11.如权利要求7所述的用金刚石密封的光纤光栅传感装置的制作方法，其特征在于，在步骤S2中，所述镀金属金刚石表面的金属镀层厚度在0.1～1μm之间。

12.如权利要求7所述的用金刚石密封的光纤光栅传感装置的制作方法，其特征在于，在步骤S3中，所述热压模具采用耐高温高压镍铬合金材质。

13.如权利要求7所述的用金刚石密封的光纤光栅传感装置的制作方法，其特征在于，在步骤S3中，所述热压模具两侧有光纤引出保护装置。

14.如权利要求7所述的用金刚石密封的光纤光栅传感装置的制作方法，其特征在于，在步骤S3中，所述热压模具内热压空间和形状为可调整，内部腔体中的光纤可铺设长度不小于3cm。

15.如权利要求7所述的用金刚石密封的光纤光栅传感装置的制作方法，其特征在于，在步骤S4中，所述金属箔片的厚度在0.3～0.7mm。