[发明专利]衬底处理装置

说明书

本发明是一种对衬底进行特定处理的衬底处理装置，所述装置包含以下要素。上述要素是指：旋转台，构成为能够绕铅直轴旋转；旋转驱动部，连结在所述旋转台的中心部，具备经接地的旋转轴，且在水平面内旋转驱动所述旋转台；保持机构，设置在所述旋转台的外周侧的上表面，具备由导电性材料构成的多根支撑销，且将衬底以与所述旋转台的上表面分离的状态呈水平姿势保持；以及接地线，具备导电性，构成所述旋转台的一部分，将所述多根支撑销与所述旋转轴电连接。

技术领域

本发明涉及一种衬底处理装置，是将半导体晶圆、液晶显示器或有机EL(Electroluminescence，电致发光)显示装置用衬底、光罩用玻璃衬底、光盘用衬底、磁盘用衬底、陶瓷衬底、太阳电池用衬底等衬底(以下，简称为衬底)支撑在旋转台上并以此状态使其旋转，同时对衬底进行特定处理。

背景技术

以往，作为这种装置，有具备旋转台及多个支撑销的装置。例如，参照日本专利特开2017-228582号公报(图4)。该装置中，利用多个支撑销来支撑衬底，衬底的下表面与旋转台的上表面分离。衬底通过旋转台而旋转，同时对它的上表面进行特定处理。在衬底原本便带电或供给到衬底的处理液带电的情况下，担心因带电引起的静电力而导致粒子吸附于衬底。因此，需要去除衬底的电荷。

在以往的装置中，支撑销的一部分由导电性的材料构成，使支撑销与旋转轴导通而将支撑销接地。由此，被支撑的衬底经由支撑销及旋转轴而接地，从而可去除衬底的电荷。

但是，就具有这种构成的以往示例来看，存在如下问题。

也就是说，以往的装置必须要实现多根支撑销与旋转轴的导通，所述多根支撑销俯视下配置在旋转台的外周侧，所述旋转轴俯视下配置在旋转台的中心部。为此，例如通过用导电性的材料构成旋转台，可实现支撑销与旋转轴的导通。

但是，旋转台也必须要具备耐化学品性，因此，衬底处理装置中可利用的材料受限。例如，在背景技术中，列举了在氟树脂系的树脂中混合碳而成的材料。但是，如果用这种材料构成旋转台，那么会有成本变得非常高的问题。

发明内容

本发明是鉴于所述情况而完成的，目的在于提供一种可通过对实现导通的构成进行研究而防止衬底带电并且抑制成本的衬底处理装置。

本发明为了达成所述目的而采取如下构成。

(1)本发明是一种对衬底进行特定处理的衬底处理装置，所述装置包含以下要素：旋转台，构成为能够绕铅直轴旋转；旋转驱动构件，连结在所述旋转台的中心部，具备经接地的旋转轴，且在水平面内旋转驱动所述旋转台；保持机构，设置在所述旋转台的外周侧的上表面，具备由导电性材料构成的多根支撑销，且将衬底以与所述旋转台的上表面分离的状态呈水平姿势保持；以及接地线，具备导电性，构成所述旋转台的一部分，将所述多根支撑销与所述旋转轴电连接。

根据本发明，中央部连结在经接地的旋转轴的旋转台中的一部分由接地线构成，通过所述接地线来将多根支撑销与旋转轴电连接。因此，与在整个旋转台中实现导通的构成相比，可防止衬底带电并且抑制成本。

(2)在本发明中，优选为，所述多根支撑销由在PEEK(聚醚醚酮)材料中调配碳纳米管而成的材料构成。

可通过作为氟系树脂的PEEK(聚醚醚酮)材料而具备耐化学品性。通过在该PEEK材料中调配碳纳米管而获得导电性。因此，可良好地构成接地线。

(3)在本发明中，优选为，所述接地线是在所述旋转台的面方向上形成得较薄的板状部件。

由于将接地线构成为在旋转台的面方向上形成得较薄的板状部件，因此，旋转台旋转时不易受到风的阻力。因此，可抑制乱流对处理造成的不良影响。

(4)在本发明中，优选为，所述多根支撑销至少为4根，所述接地线在俯视下形成为十字型，且连接于所述多根支撑销中的4根。