[发明专利]衬底处理装置

权利要求书

1.一种衬底处理装置，对衬底进行特定处理，所述装置包含以下要素：

旋转台，构成为能够绕铅直轴旋转；

旋转驱动构件，连结在所述旋转台的中心部，具备经接地的旋转轴，且在水平面内旋转驱动所述旋转台；

保持机构，设置在所述旋转台的外周侧的上表面，具备由导电性材料构成的多根支撑销，且将衬底以与所述旋转台的上表面分离的状态呈水平姿势保持；以及

接地线，具备导电性，构成所述旋转台的一部分，将所述多根支撑销与所述旋转轴电连接。

2.根据权利要求1所述的装置，其中

所述多根支撑销由在PEEK(聚醚醚酮)材料中调配碳纳米管而成的材料构成。

3.根据权利要求1所述的装置，其中

所述接地线是在所述旋转台的面方向上形成得较薄的板状部件。

4.根据权利要求2所述的装置，其中

所述接地线是在所述旋转台的面方向上形成得较薄的板状部件。

5.根据权利要求1所述的装置，其中

所述多根支撑销至少为4根，

所述接地线在俯视下形成为十字型，且连接于所述多根支撑销中的4根。

6.根据权利要求2所述的装置，其中

所述多根支撑销至少为4根，

所述接地线在俯视下形成为十字型，且连接于所述多根支撑销中的4根。

7.根据权利要求3所述的装置，其中

所述多根支撑销至少为4根，

所述接地线在俯视下形成为十字型，且连接于所述多根支撑销中的4根。

8.根据权利要求4所述的装置，其中

所述多根支撑销至少为4根，

所述接地线在俯视下形成为十字型，且连接于所述多根支撑销中的4根。

9.根据权利要求1所述的装置，其中

所述接地线安装在所述旋转台的下表面。

10.根据权利要求2所述的装置，其中

所述接地线安装在所述旋转台的下表面。

11.根据权利要求3所述的装置，其中

所述接地线安装在所述旋转台的下表面。

12.根据权利要求4所述的装置，其中

所述接地线安装在所述旋转台的下表面。

13.根据权利要求5所述的装置，其中

所述接地线安装在所述旋转台的下表面。

14.根据权利要求6所述的装置，其中

所述接地线安装在所述旋转台的下表面。

15.根据权利要求7所述的装置，其中

所述接地线安装在所述旋转台的下表面。

16.根据权利要求8所述的装置，其中

所述接地线安装在所述旋转台的下表面。

17.根据权利要求9所述的装置，其中

所述接地线埋设在所述旋转台的下表面。

18.根据权利要求10所述的装置，其中

所述接地线埋设在所述旋转台的下表面。

19.根据权利要求11所述的装置，其中

所述接地线埋设在所述旋转台的下表面。

20.根据权利要求1所述的装置，其中

所述旋转台中形成着从所述支撑销朝向所述旋转轴具有长轴的槽，

所述槽在与所述长轴正交的短轴处的纵截面中，呈现上底形成得比下底长的梯形，

所述接地线在所述短轴处的纵截面呈现与所述槽相应的形状。