[发明专利]一种线性真空干燥设备

说明书

本发明公开了一种线性真空干燥设备，涉及干燥设备技术领域，包括依次连通的上料区域、干燥区域和下料区域，以及用于控制上料区域、干燥区域和下料区域真空状态的真空调控系统，干燥区域包括依次相连通的前缓冲腔、干燥腔和后缓冲腔，干燥腔的腔内设置有气体喷淋系统，干燥腔腔内的底部设置有加热系统，气体喷淋系统包括呈间隔排列且相互交替重复设置的喷气区和抽气区。本发明具备了通过均匀间隔补气抽气的方式，结合玻璃的动态传动，使玻璃表面各处都均匀分布新鲜气体而形成较好的气体交换，达到较好的干燥效果，并且动态传动的方式也有利于线性传输的大型量产设备产能设计。

技术领域

本发明涉及干燥设备技术领域，具体为一种线性真空干燥设备。

背景技术

太阳能是人类取之不尽用之不竭的可再生能源.也是清洁能源，不产生任何的环境污染。在太阳能的有效利用当中；太阳能光电利用是近些年来发展最快，最具活力的研究领域，是其中最受瞩目的项目之一。为此，人们研制和开发了太阳能电池。近年来PERC太阳能电池进入发展的瓶颈期，HIT电池、Topcon结构以及钙钛矿叠层太阳能电池等由于效率高，作为研究热点的新型技术，近年来效率提升非常快，已大步走向量产化。

太阳能电池常是在镀有透明导电薄膜的玻璃上制备，其中绝大部分有机层常采用涂布的方式进行，涂布的有机溶胶常为液体的配方溶液，涂布完成后需经过干燥挥发掉多余的有机溶液，挥发过程要求非常均匀，常规的设计通常有以下几种：一，上方喷淋板均匀补气，底部四周抽气；二，单边补气对侧抽气形成对流。但以上两种方式存在以下一些问题，方案一的方式四周使气体趋向于向玻璃四周边缘流动，导致喷淋板中心区域气体更稀薄，从而导致膜层挥发不均匀；方案二的方式由于玻璃表面有机溶液挥发过程中会存在于进气气体发生交换，而一边进气对侧抽气的设计使得进气侧气体较新鲜，对侧气体交换受影响。如此常用的补气抽气的方案不是很理想。

发明内容

本发明的目的在于提供一种线性真空干燥设备，具备了通过均匀间隔补气抽气的方式，结合玻璃的动态传动，使玻璃表面各处都均匀分布新鲜气体而形成较好的气体交换，达到较好的干燥效果，并且动态传动的方式也有利于线性传输的大型量产设备产能设计，解决了上述背景技术中所提出的技术问题。

为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种线性真空干燥设备，包括依次连通的上料区域、干燥区域和下料区域，以及用于控制所述上料区域、所述干燥区域和所述下料区域真空状态的真空调控系统；

所述干燥区域包括依次相连通的前缓冲腔、干燥腔和后缓冲腔，所述干燥腔的腔内设置有气体喷淋系统，所述干燥腔腔内的底部设置有加热系统；

所述气体喷淋系统包括呈间隔排列且相互交替重复设置的喷气区和抽气区。

可选的，所述喷气区和抽气区均包括数个气口，所述抽气区相对于所述喷气区呈凹槽设置，所述气口的直径为0.5mm～5mm，所述凹槽的宽度为0.5mm～5mm，所述凹槽的长度为1mm～1000mm。

可选的，所述喷气区的有效喷气区域长度大于待干燥基板垂直于传输方向上的宽度，具体为大于1cm～10cm。

可选的，所述气体喷淋系统固定于待干燥基板传动至所述干燥腔后需干燥面的平行面，所述气体喷淋系统的底面与待干燥基板上表面两平行面的距离为2mm～200mm。

可选的，所述气体喷淋系统所喷出的气体包括氮气、氢气、干燥空气、氧气、甲氨、氨气等其中的一种或几种混合气体。

可选的，所述上料区域包括上料平台和上料腔，所述下料区域包括下料腔和下料平台，所述上料平台、所述上料腔、所述前缓冲腔、所述干燥腔、所述后缓冲腔、所述下料腔和所述下料平台依次相连通，所述上料平台和所述上料腔之间、所述上料腔和所述前缓冲腔之间、所述后缓冲腔和所述下料腔之间，以及所述下料腔和所述下料平台之间均设置有门阀。