[发明专利]一种线性真空干燥设备

权利要求书

1.一种线性真空干燥设备，其特征在于，包括依次连通的上料区域、干燥区域和下料区域，以及用于控制所述上料区域、所述干燥区域和所述下料区域真空状态的真空调控系统；

所述干燥区域包括依次相连通的前缓冲腔(3)、干燥腔(4)和后缓冲腔(6)，所述干燥腔(4)的腔内设置有气体喷淋系统(11)，所述干燥腔(4)腔内的底部设置有加热系统(12)；

所述气体喷淋系统(11)包括呈间隔排列且相互交替重复设置的喷气区(17)和抽气区(18)。

2.根据权利要求1所述的线性真空干燥设备，其特征在于：所述喷气区(17)和抽气区(18)均包括数个气口，所述抽气区(18)相对于所述喷气区(17)呈凹槽设置，所述气口的直径为0.5mm～5mm，所述凹槽的宽度为0.5mm～5mm，所述凹槽的长度为1mm～1000mm。

3.根据权利要求1所述的线性真空干燥设备，其特征在于：所述喷气区(17)的有效喷气区域长度大于待干燥基板垂直于传输方向上的宽度，具体为大于1cm～10cm。

4.根据权利要求1所述的线性真空干燥设备，其特征在于：所述气体喷淋系统(11)固定于待干燥基板传动至所述干燥腔(4)后需干燥面的平行面，所述气体喷淋系统(11)的底面与待干燥基板上表面两平行面的距离为2mm～200mm。

5.根据权利要求1所述的线性真空干燥设备，其特征在于：所述气体喷淋系统(11)所喷出的气体包括氮气、氢气、干燥空气、氧气、甲氨、氨气等其中的一种或几种混合气体。

6.根据权利要求1-5中任意一项所述的线性真空干燥设备，其特征在于：所述上料区域包括上料平台(1)和上料腔(2)，所述下料区域包括下料腔(7)和下料平台(8)，所述上料平台(1)、所述上料腔(2)、所述前缓冲腔(3)、所述干燥腔(4)、所述后缓冲腔(6)、所述下料腔(7)和所述下料平台(8)依次相连通，所述上料平台(1)和所述上料腔(2)之间、所述上料腔(2)和所述前缓冲腔(3)之间、所述后缓冲腔(6)和所述下料腔(7)之间，以及所述下料腔(7)和所述下料平台(8)之间均设置有门阀(9)。

7.根据权利要求6所述的线性真空干燥设备，其特征在于：所述真空调控系统包括真空泵(10)，所述真空泵(10)通过电磁阀一(14)和电磁阀二(16)，以及三通管(13)分别与所述上料腔(2)和所述下料腔(7)相连通。

8.根据权利要求1所述的线性真空干燥设备，其特征在于：还包括充气泵(19)和抽气泵(20)，所述充气泵(19)与所述喷气区(17)相连通，以通过控制所述充气泵(19)对所述喷气区(17)的喷气流量进行调整，并且整台设备的进气流量为0.2slm～200slm，所述抽气泵(20)与所述抽气区(18)相连通。

9.根据权利要求1所述的线性真空干燥设备，其特征在于：所述干燥腔(4)的数量至少为一个。